Het verwijderen van ozon bij het gebruik van infraroodverlichting voor droogprocedures
Wanneer je semiconductoren produceert, is het laatste wat je wilt een droogproces dat schade toebrengt aan de wafer of de schone ruimte in een gevaarlijke omgeving verandert. Daarom gebruiken we infraroodlampen zonder ozon. Dit zorgt erop dat iedereen de vereiste standaarden kan halen, zonder problemen.
Waarom ozon een probleem is
Het probleem is dat standaard infraroodlampen straling uitstralen in het gebied van 185 nm tot 254 nm. Op deze golflengte wordt het zuurstof in de lucht omgezet in ozon. In een productieomgeving is ozon een grote hinderpaal: het beschadigt de apparatuur en maakt de lucht gevaarlijk voor de mensen die de machines bedienen. Niemand wil dat.
Oplossing: gebruik van speciale lampen
We lossen dit op door quartzbuizen te gebruiken met speciale coatings of additieven. Denk erbij aan een soort filter voor het VUV-spectrum. Hierdoor wordt alles wat zich onder 200 nm bevindt geblokkeerd. De lamp geeft nog steeds genoeg warmte om het materiaal te drogen, maar de chemische reactie die ozon veroorzaakt, wordt tegengehouden. Simpel gezegd.
Wat dit betekent voor jouw productieproces
Het goede nieuws is dat je geen enorme ventilatiesystemen nodig hebt om het ozon uit de lucht te halen. Je hoeft minder ruimte in te nemen en bespaart energie doordat je geen overbodige ventilatie gebruikt. Bovendien wordt de energie rechtstreeks naar het materiaal geleid. Je verspilt geen tijd met het opwarmen van de lucht rondom het materiaal; het materiaal zelf wordt opgewarmd. Dat is ook de reden dat deze methode zo goed werkt voor milieuvriendelijke harsen en loodvrije lijmstoffen.
Een belangrijk punt om rekening mee te houden
Omdat we het VUV-spectrum filteren, verandert de energieverdeling iets. Het kan nodig zijn om de snelheid van de transportband of de tijd dat het materiaal in de lamp wordt gehouden aan te passen, zodat de gewenste temperatuur wordt bereikt. Als je een hoge produktiesnelheid hebt, moet je goed controleren of alles op het juiste niveau is.
Instellen van de lampen
Deze lampen zijn bedoeld als vervanging voor bestaande infraroodlampen. Ze werken op standaard industriële spanningen, dus je kunt ze eenvoudig aansluiten op je bestaande controllers. Een tip: houd de quartzbuizen schoon. Als er stof op het glas komt te zitten, ontstaan er hete plekken. Dat kan ervoor zorgen dat de lamp eerder kapotgaat. Houd ze schoon, dan zullen ze lang meegaan.