Stop met het opwarmen van uw apparaat in plaats van de wafer.
Hier ligt het probleem met standaard infraroodlampen: ze geven warmte overal af. Het is een 360-gradenverspreiding van warmte.
Wanneer u werkt in een kleine halfgeleiderkamer, is dat een nachtmerrie. Een groot deel van de energie raakt de wafer helemaal niet, maar wordt rechtstreeks op de binnenwanden van het apparaat gericht. Hierdoor ontstaan er ‘ hete zones’ op het apparaat, waardoor de operator gewond kan raken of de procestemperaturen veranderen. Het is frustrerend en bovendien verspilling van energie.
De oplossing
We lossen dit op door een dunne laag goud op de achterkant van het kwarts omhulsel aan te brengen. Denk hierbij aan een soort spiegel voor infraroodstraling. In plaats van dat de warmte terugvalt op het apparaat, wordt deze door het goud naar voren gestuurd. Alle warmte gaat precies waar het moet zijn: richting het doel.
U krijgt meer wattage op het werkstuk, terwijl veel minder energie wordt gebruikt om het apparaat op te warmen. U hoeft dus geen geld meer uit te geven aan het opwarmen van de lucht en de wanden van het apparaat.
De nadelen
Het goede nieuws is dat u hogere vermogensdichtheden kunt gebruiken, zonder dat het apparaat gevaarlijk wordt. Dit maakt het gemakkelijker om de veiligheidsmaatregelen in stand te houden.
Maar let wel: deze lampen concentreren de warmte. Als het brandpunt niet precies klopt, of als het materiaal de hitte niet aankan, kunnen er ‘ hete punten’ op de wafer ontstaan. Controleer ook uw PID-regelaars goed. Omdat de warmte sneller wordt geleverd, verandert ook de tijd die nodig is om het apparaat op temperatuur te brengen.
Hoe het in praktijk werkt
Het voordeel van deze lampen is dat ze eenvoudig kunnen worden vervangen door de standaard kortegolflengte-infraroodbuizen. U hoeft ze alleen maar aan te sluiten op de bestaande stroomvoorziening. U zult meteen merken dat de temperatuur van het apparaat daalt. Het is een eenvoudige manier om het probleem van ‘ hete wanden’ op te lossen, zonder dat u de koelingssystemen hoeft te vernieuwen of extra isolatie hoeft te gebruiken.