Het verminderen van de co2-uitstoot in de fabricagefabrieken: waarom IR-technologie de beste oplossing is
Laten we eerlijk zijn: semiconductorfabrieken verbruiken enorm veel energie. Als je kijkt naar waar al die elektriciteit naartoe gaat, gaat een groot deel verloren aan thermische verwerking.
Jarenlang werd er gebruik gemaakt van grote convectiekosten. Maar hier is het probleem: ze verbruiken veel te veel energie om de lucht en de muren van de oven op temperatuur te brengen, zodat de chip op de juiste temperatuur komt. Dat is verspilling.
Daarom gebruiken we gecertificeerde infrarode (IR)-lampen. In plaats van de hele ruimte op te warmen, bereikt het IR-straling rechtstreeks de chip of de fotoresist. Het is dus een directe actie.
De logica achter het besparen van energie
Denk eens na over een gewone oven: deze werkt langzaam. Er wordt veel lucht opgewarmd, en er wordt elke seconde warmte verloren.
Onze IR-systemen maken gebruik van kortegolfradiatie. De warmte bereikt het onderwerp bijna meteen. Er hoeft niet te worden gewacht. Omdat de opwarming zo snel gebeurt, worden de cyclustijden korter. Hierdoor hoeven de machines niet urenlang te werken om een batch af te ronden.
We ontwerpen deze lampen ook met een hoge energiedichtheid. Door de energie in een smalle straal te concentreren, neemt de totale oppervlakte die nodig is voor de opwarming af. En omdat er geen grote hoeveelheden warmte vrijkomen, hoeft het HVAC-systeem minder hard te werken om de fabriek koel te houden.
De praktische toepassing (en de valkuilen die moet worden vermeden)
We bouwen deze lampen speciaal voor schone ruimtes. Dat betekent dat er geen uitstoot van gassen is en dat er geen deeltjes vrijkomen. We gebruiken kwartsklemmen van hoge zuiverheid, want je wilt natuurlijk voorkomen dat er contaminatie optreedt.
Maar er is één belangrijk punt waar je op moet letten: deze hoge-power-lampen verbruiken veel energie zodra ze worden aangezet. Als je elektrische schakelingen niet klaar zijn voor zulke hoge stromen, zal je de hele dag overbelasting hebben.
En dit is het gevaarlijke: kortegolfradiatie is zeer intensief. Als de transportband zelfs maar een paar seconden stopt, wordt het snel erg heet. Je moet dus een veiligheidsmechanisme inbouwen. Zodra de band stopt, moet de stroom worden afgesloten, anders branden de chips weg.
Wat dit precies oplevert
Uiteindelijk leidt het gebruik van IR-technologie tot minder energieverbruik per chip. Het is een eenvoudige manier om je CO2-uitstoot te verminderen.
Het beste deel? Het kan meestal direct worden gebruikt als vervanging voor je oude apparatuur. Je krijgt meer productiviteit en lagere emissies, zonder dat je je hele productielijn moet vervangen.