Chauffage par rayonnement infrarouge vs. air chaud : arrêtez de perdre du temps dans le processus de durcissement des wafers
Si vous continuez à utiliser la circulation d’air chaud pour le traitement des semi-conducteurs, vous perdez inutilement du temps.
Le problème, c’est que l’air est très mauvais pour transmettre la chaleur. Lorsque l’on utilise la convection forcée, il faut d’abord chauffer l’air, puis la chambre, et enfin le wafer lui-même. C’est un processus lent. Il y a donc un délai désagréable qui réduit votre capacité de production.
Éliminer l’étape intermédiaire
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à rayonnement infrarouge. Au lieu d’attendre que l’air se réchauffe, les lampes à rayonnement infrarouge envoient directement des radiations électromagnétiques vers la surface du wafer. C’est immédiat. Nous utilisons des réflecteurs spécialisés pour concentrer cette énergie là où elle est nécessaire, afin de ne pas chauffer inutilement le châssis de la machine. Vous atteignez ainsi la température souhaitée en quelques secondes. En cessant d’attendre que la machine soit prête, votre productivité augmente considérablement.
C’est tout une question de réflecteurs
La véritable magie réside dans la conception des réflecteurs. Si vous utilisez des réflecteurs bon marché, vous gaspillez la moitié de l’énergie produite. Nous utilisons des revêtements à haute réflexivité pour renvoyer chaque photon vers le wafer. Cela permet d’obtenir une distribution uniforme de la chaleur. Ainsi, le wafer durcit de manière homogène, sans risque de déformation.
Les limites
Ce n’est pas une solution miracle. Il y a des compromis à faire. Les lampes à rayonnement infrarouge à haute densité deviennent extrêmement chaudes. Si les réflecteurs ne fonctionnent pas correctement ou si les ventilateurs de refroidissement ne suffisent pas, les lampes peuvent se briser ou le boîtier peut se déformer. Il faut donc trouver un équilibre entre cette puissance et un système de refroidissement capable de gérer cette charge.
La réalité sur le terrain
Pour ceux qui en ont assez du processus lent de chauffage par convection, le chauffage par rayonnement infrarouge est la solution idéale. Il réduit la taille de l’installation de traitement et élimine ce temps perdu lors de l’utilisation de l’air chaud. Il suffit de connecter les lampes, de régler les réflecteurs, et les temps de traitement diminueront rapidement.