Réduire les émissions de carbone dans les usines de fabrication : pourquoi le séchage par rayonnement infrarouge est la solution idéale
soyons honnêtes : les usines de semi-conducteurs consomment une énorme quantité d’énergie. Si l’on regarde où va toute cette électricité, une grande partie est utilisée pour les processus thermiques. Pendant des années, on a utilisé des fours à convection volumineux. Mais le problème, c’est qu’ils consomment beaucoup trop d’énergie pour chauffer l’air et les parois du four, juste pour atteindre la température adéquate du wafer. C’est un gaspillage. C’est pourquoi nous utilisons des lampes de séchage par rayonnement infrarouge certifiées. Au lieu de chauffer toute la pièce, le rayonnement infrarouge cible directement le wafer ou le photorésistant. C’est plus efficace.
La logique derrière cette économie d’énergie
Pensez à un four traditionnel : il est lent. Il faut chauffer un grand volume d’air, et de la chaleur s’échappe constamment. Nos systèmes à rayonnement infrarouge utilisent des ondes courtes. La chaleur atteint rapidement le substrat. Pas de temps perdu. Comme le temps de chauffage est très court, les cycles de traitement sont raccourcis. Ainsi, vos machines n’ont pas besoin de fonctionner pendant des heures pour terminer un lot. De plus, ces lampes sont conçues pour avoir une haute densité énergétique. En concentrant l’énergie en un faisceau étroit, toute la station de chauffage occupe moins d’espace. Et comme vous ne générez pas autant de chaleur résiduelle, votre système de climatisation n’a pas besoin de travailler autant pour maintenir l’usine fraîche.
La configuration réelle (et les pièges à éviter)
Nous concevons ces équipements spécialement pour les salles propres. Cela signifie qu’il n’y a pas de dégagement de gaz ni de particules. Nous utilisons des enveloppes en quartz de haute pureté, car la dernière chose dont vous avez besoin, c’est que la contamination gâche tout. Mais attention au côté électrique. Ces lampes à forte puissance consomment beaucoup d’énergie dès qu’elles s’allument. Si vos panneaux électriques ne sont pas prêts à gérer ces pics de consommation, vous allez constamment faire sauter les disjoncteurs. Et voici le problème : le rayonnement infrarouge à ondes courtes est très intense. Si la bande transporteuse s’arrête ne serait-ce que quelques secondes, la température monte rapidement. Il est donc nécessaire d’installer un dispositif de sécurité qui coupe immédiatement l’alimentation en énergie, sinon vos wafers risquent de brûler sous vos yeux.
Quels sont les avantages réels ?
En fin de compte, le passage au séchage par rayonnement infrarouge permet de réduire la consommation d’électricité par wafer. C’est une manière simple de réduire son empreinte carbone. Le meilleur côté ? Il s’agit généralement d’un remplacement direct de vos anciens systèmes de séchage. Vous obtenez ainsi une productivité accrue et des émissions moindres, sans avoir besoin de démonter toute votre ligne de production et de tout recommencer à zéro.