Arrêtez de chauffer votre machine au lieu de la wafer elle-même.
Voici le problème avec les lampes infrarouges classiques : elles émettent de la chaleur partout, dans tous les sens. C’est comme si la chaleur était diffusée à 360 degrés. Lorsque vous travaillez dans une chambre de semi-conducteurs exiguë, c’est un véritable cauchemar. Une grande partie de l’énergie produite ne touche pas du tout la wafer, mais se répand plutôt sur les parois intérieures de l’équipement. On se retrouve donc avec des “zones chaudes” qui peuvent brûler l’opérateur ou provoquer des fluctuations de température lors du processus de fabrication. C’est frustrant, et c’est aussi un gaspillage d’énergie.
La solution idéale
Pour résoudre ce problème, nous appliquons une fine couche d’or sur la partie arrière de l’enveloppe en quartz. On peut voir cela comme un miroir pour les rayonnements infrarouges. Au lieu que la chaleur se répande vers l’intérieur de l’équipement, l’or la renvoie vers l’avant. Toute l’énergie est ainsi dirigée vers sa destination prévue : la wafer. Vous obtenez ainsi plus d’énergie pour la wafer, et beaucoup moins d’énergie qui se dissipe dans le cadre de l’équipement. Vous n’avez plus besoin de chauffer l’air et les parois de l’équipement.
Les avantages
Le meilleur aspect ? Vous pouvez utiliser des densités de puissance plus élevées sans que cela devienne un risque pour l’équipement. Cela rend également la gestion de la protection thermique beaucoup plus simple.
Des précautions à prendre
Cependant, il faut être prudent. Ces lampes concentrent la chaleur. Si le point de focale n’est pas bien ajusté, ou si le matériau utilisé ne peut pas supporter cette chaleur, des “points chauds” peuvent apparaître sur la wafer. Il est également important de vérifier correctement vos régulateurs PID. Comme la chaleur est délivrée plus rapidement, le temps de mise en marche de l’équipement change.
Installation facile
Le bon côté, c’est que ces lampes peuvent remplacer simplement les tubes infrarouges classiques. Il suffit de les connecter à l’alimentation électrique existante. Vous remarquerez immédiatement une baisse de température du cadre de l’équipement. C’est donc une manière simple de résoudre le problème des “murs chauds”, sans avoir à redessiner le système de refroidissement ou à ajouter des isolants encombrants.