Arrêtez les éclats : gardez vos wafer propres en cas de panne des lampes chauffantes
Dans une usine de production à grande échelle, la rupture d’une Lampe est un véritable cauchemar. Il ne s’agit pas seulement du fait que la machine doit cesser de fonctionner pendant quelques heures. C’est aussi le désordre qui en résulte.
Lorsqu’un tube de quartz se brise, il projette des éclats et des particules sur vos wafer. Un simple éclat suffit pour rendre toute votre batch inutilisable.
Nous avons passé beaucoup de temps à trouver des moyens d’éviter cela. Voici comment nous concevons nos lampes chauffantes UHP afin de protéger votre ligne de production.
Ça commence avec le verre
Les tubes bon marché contiennent de petites impuretés métalliques à l’intérieur. On ne peut pas les voir, mais lorsque la température augmente, ces points deviennent des points de faiblesse. Ils se brisent alors.
Nous utilisons du silice synthétique au point de fusion élevé. Ce matériau est conçu pour résister aux chocs de chauffage et de refroidissement rapides. En maintenant un niveau de pureté élevé, nous éliminons ces points de faiblesse, ce qui signifie que le tube ne se brise pas sous pression.
Une protection pour vos wafer
Même avec les meilleurs matériaux, des problèmes peuvent survenir. C’est pourquoi nous avons mis en place un système de secours.
Nos lampes UHP disposent d’une gaine en quartz ou d’un revêtement en film mince. Cela fonctionne comme une protection supplémentaire. Si le filament interne se brise, cette couche externe permet de maintenir la structure intacte. Ce n’est pas une solution absolue, mais cela offre à votre système quelques secondes précieuses pour déclencher une fermeture d’urgence avant que tout ne se brise.
Un conseil important
Faites attention à l’alimentation électrique. Il est tentant d’exercer trop de pression sur le tube pour atteindre plus rapidement la température souhaitée. Ne le faites pas. Une tension excessive est la manière la plus rapide de réduire la durée de vie de la lampe et de provoquer son explosion. Respectez toujours les spécifications fournies.
Assurer un bon ajustement
Nous veillons à ce que les lampes aient une taille adaptée, afin d’obtenir le maximum de flux thermique possible. Mais cette haute densité d’énergie met une grande pression sur le système de refroidissement.
Si les extrémités de la lampe ne sont pas correctement refroidies, on crée un gradient thermique important, ce qui provoque généralement des défaillances. Lorsque vous les connectez, laissez de l’espace entre elles, en tenant compte des spécifications liées à l’expansion thermique. Vous ne voulez pas que des tensions mécaniques agissent sur le verre.
Gardez-le détendu, gardez-le frais… et vos wafer resteront propres.