Trong quy trình sản xuất pin trạng thái rắn, việc kiểm soát nhiệt độ là vô cùng quan trọng, tương tự như việc kiểm soát độ chính xác của các thông số kỹ thuật liên quan đến wafer. Nếu việc điều chỉnh nhiệt độ không chính xác, dù chỉ một chút thôi, hoặc nếu có điểm lạnh trên bề mặt substrat, thì chất lượng sản phẩm sẽ bị ảnh hưởng, đồng thời các lớp tiếp xúc giữa các thành phần trong pin cũng sẽ xuất hiện khuyết tật. Chúng tôi đã chế tạo thiết bị gia nhiệt này để đảm bảo mọi bước trong quy trình sản xuất đều diễn ra trong phạm vi nhiệt độ được quy định.
Những yếu tố kỹ thuật quan trọng Chúng tôi sử dụng tia hồng ngoại tầng ngắn cùng các bộ phát tín hiệu bằng thạch anh có khả năng phản ứng nhanh, nhằm truyền nhiệt trực tiếp vào substrat. Độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ diện tích wafer được duy trì ở mức ±0,1°C, còn độ lặp lại giữa các lần xử lý thì ở mức dưới ±0,5°C. Hệ thống hoạt động trong môi trường sạch loại 1–100, mà không gây ra sự xuất hiện của các hạt bụi. Chúng tôi cũng kiểm tra điều này ngay tại chỗ. Các thông số liên quan đến lớp phủ quang học vẫn giữ nguyên giá trị từ giai đoạn xử lý ban đầu cho đến giai đoạn cuối cùng; thời gian xử lý được kiểm soát với độ chính xác cao – không có sự sai lệch do quá trình điều chỉnh nhiệt độ kéo dài.
Tại sao thiết bị này lại phù hợp cho quy trình sản xuất pin trạng thái rắn? Trong quy trình này, các bước như sấy khô wafer, xử lý lớp phủ quang học và xử lý các lớp tiếp xúc diễn ra liên tục. Tia hồng ngoại giúp rút ngắn thời gian xử lý, đồng thời hệ thống kiểm soát vòng lặp giúp duy trì các thông số kỹ thuật ở mức mong muốn. Kết quả là chất lượng sản phẩm được đảm bảo, số lượng sản phẩm phải tái xử lý giảm đi, và mức tiêu thụ năng lượng cũng giảm xuống, vì năng lượng được sử dụng để làm nóng lớp phủ và substrat, chứ không phải toàn bộ buồng xử lý. Các thông số kỹ thuật trong quy trình được kiểm soát chặt chẽ, và chất lượng sản phẩm trở nên dễ dàng dự đoán được.
Những điều bạn cần biết trước khi sử dụng thiết bị này Việc tích hợp thiết bị này vào quy trình sản xuất khá đơn giản, nhưng cần phải điều chỉnh đúng khoảng cách giữa bộ phát tín hiệu và substrat – độ đồng đều của nhiệt độ phụ thuộc vào yếu tố này. Bạn cần có thời gian ngắn để điều chỉnh các thông số liên quan đến quy trình xử lý. Các bộ phát tín hiệu có thể hoạt động trong hơn 5.000 giờ mà vẫn giữ được độ ổn định về nhiệt độ. Chúng tôi cũng dự định tiến hành việc hiệu chuẩn định kỳ mỗi 2.000 giờ, nhằm đảm bảo độ ổn định của nhiệt độ theo đúng tiêu chuẩn.