При обработке пластин из СиЛиС они плохо справляются с обычными нагревательными устройствами. Для процедур мягкой и твердой обработки, а также для последующей стабилизации свойств материала необходим высокая температура, которая должна распределяться равномерно, без превышения допустимых значений температуры для пластины. Если температура распределяется неравномерно, возникают проблемы с поверхностью пластины, что проявляется лишь спустя некоторое время после завершения процесса.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы используем лампы для нагрева пластин из СиЛиС, которые работают в диапазоне коротковолнового инфракрасного излучения. Это позволяет направлять тепло именно на поверхность пластины, не нагревая при этом другие элементы установки. Время реакции составляет менее секунды, а равномерность температуры на поверхности пластины сохраняется в пределах ±0,1°C. Это обеспечивает точный контроль размеров пластины и возможность получения стабильных результатов после процедуры литографии.
Лампы можно использовать в чистых комнатах класса 1–100. Они не выделяют никаких частиц, а герметичная конструкция защищает от загрязнений. Мощность лампы остается стабильной в течение более 5 000 часов с падением менее 5%, что позволяет использовать их круглосуточно без перерывов.
Почему это подходит для обработки пластин из СиЛиС Обработка пластин из СиЛиС требует высокой точности: высокая теплопроводность, тонкие слои материала и строгое соблюдение параметров обработки. Инфракрасное излучение сокращает время обработки, поскольку энергия передается напрямую, без необходимости использования нагревательных площадок. Это позволяет сократить время между нанесением слоя и его обработкой, а также избежать избыточного нагрева слоев под слоем фоторезиста. В результате ускоряется процесс обработки, улучшаются параметры процесса и сокращается количество бракованных изделий.
Что необходимо знать заранее Установка лампы требует правильной настройки оптических элементов в зависимости от геометрии пластины. Лампы предназначены для использования с пластинами размером 150 мм и 200 мм; если используются пластины размером 300 мм, необходимо изменить настройки оптических элементов для соответствия большей площади пластины. Потребуется небольшой период настройки для определения оптимальной мощности и времени обработки для вашего типа пластины. После этого процесс может быть повторен с одинаковыми результатами. Но начальная настройка является неотъемлемой частью процесса обработки.