На производственной площадке температурный режим в печи для оксидации определяет критерии качества оксидного слоя на всей площади кристалла. Даже небольшое изменение температуры в 1°C может привести к тому, что готовый продукт станет бракованным. Мы разработали специальные нагревательные элементы для процесса оксидации кристаллов, чтобы устранить такую нестабильность.
Что имеет значения с технической точки зрения
Сердцем конструкции является массив кварцево-галогенных ламп, которые направляют энергию коротких волн прямо на кристалл. Это обеспечивает температурную однородность в пределах ±0,1°C на всей поверхности кристалла.
На уровне технологий с размером частиц менее 10 нм это критически важно. Качество фотополимерной пленки и эффективность процесса агрессивной обработки зависят от точности регулирования температуры. Наше устройство обеспечивает стабильность температуры на протяжении всего времени работы, 24/7. При этом не возникает никаких частиц, что подтверждается условиями класса чистоты 1.
Почему это работает в производстве
Это решение помогает снизить проблемы, связанные с процессами литографии и агрессивной обработки. Когда температурный профиль стабилен и предсказуем, толщина фотополимерной пленки остается одинаковой после процедуры агрессивной обработки. Это позволяет избежать проблем с качеством поверхности кристалла во время последующей обработки.
Результатом являются меньше переработок и повышенная производительность. Также снижается энергопотребление, что в свою очередь снижает себестоимость производства без снижения скорости работы оборудования.
Что необходимо учитывать при планировании
Это устройство может быть использовано в уже существующих печах, но для его правильной работы требуется специальный источник питания и интерфейс управления. Профиль коротких волн идеален для быстрой термической обработки, но точность выравнивания устройства по отношению к кристаллу должна быть максимальной – иначе могут возникнуть локальные зоны повышенной температуры.
Мы проводим тестирование на месте, чтобы температурный профиль соответствовал вашим требованиям. Таким образом, качество работы устройства будет стабильным на протяжении всего времени использования.