При производстве твердотельных аккумуляторов необходимо строго контролировать температуру, так же как и толеранции размеров кристаллических структур, из которых они состоят. Даже незначительное отклонение в параметрах обработки может привести к снижению качества продукции, а также к появлению дефектов на поверхности подложки. Мы разработали специальный нагреватель для обработки твердотельных аккумуляторов, чтобы все этапы производства проходили в заданных температурных условиях.
Что имеет значение с технической точки зрения
Для нагрева подложки используются инфракрасные излучатели с быстрой реакцией. Благодаря этому тепло распределяется равномерно по всей активной зоне – отклонение температуры не превышает ±0,1°C. Повторяемость результатов при каждой процедуре обработки составляет менее ±0,5°C. Система может работать в чистых комнатах класса 1–100 без добавления частиц в процесс. Профили фоторезиста остаются стабильными на всех этапах обработки, а время отверждения контролируется с точностью до миллисекунд.
Почему это важно для производства твердотельных аккумуляторов
В этом процессе сушка подложки, предварительная обработка фоторезиста и отверждение интерфейсных слоев происходят одна за другой. Инфракрасное излучение сокращает время обработки, а замкнутый цикл управления позволяет поддерживать критические размеры в заданных пределах. Это позволяет получать более качественную продукцию, сокращать количество неудачных партий и снижать энергопотребление, так как энергия направляется на саму подложку и пленку, а не на помещение, где происходит обработка. Таким образом, процесс становится более предсказуемым.
Что нужно знать заранее
Интеграция устройства в производственный процесс происходит легко, но необходимо точно определить расстояние между излучателем и подложкой – от этого зависит качество обработки. Потребуется некоторое время на настройку параметров обработки. Излучатели рассчитаны на работу более 5 000 часов с минимальными отклонениями в выходной мощности. Мы также проводим профилактическую калибровку каждые 2 000 часов, чтобы поддерживать стабильность температуры.