На линиях обработки пластин диаметром 300 мм остатки флюкса после формирования выступов на поверхности пластины представляют собой не просто источник загрязнений. Это своего рода «бомба ненадежности», готовая взорваться в любой момент. Неполное испарение флюкса приводит к образованию пустот и соединениям между элементами пластины; в результате увеличивается количество бракованных изделий, а температурный режим работы устройства выходит за заданные параметры. Мы разработали эту систему для того, чтобы устранять такие проблемы уже на самом начальном этапе.
Что действительно важно Устройство обеспечивает быстрое и контролируемое испарение флюкса с использованием коротковолнового инфракрасного излучения. Температура на всей поверхности пластины остается постоянной — ±0,1°C. Кварцевые излучатели обеспечивают чистое тепло без образования частиц. Система выпуска газов соответствует стандартам чистых помещений класса 1–100, что исключает возможность попадания загрязнений в камеру.
Повторяемость процесса гарантируется благодаря точному контролю температуры и времени испарения флюкса. Изоляция из углеродных волокон снижает колебания энергопотребления и сохраняет стабильность параметров, даже при высоких объемах производства.
Почему это работает на практике Независимо от того, является ли речь о сушке пластин, литографии или процессе упаковки, требования одинаковы: необходим контроль температуры, который не будет снижать качество продукции. Эта система может быть использована на линиях обработки пластин, позволяя точно удалять флюкс без повреждения металлизации под выступами на поверхности пластины.
Процесс обработки фоторезиста проходит в рамках заданных параметров, циклы очистки и сушки завершаются быстрее, а количество необходимых правок снижается. Энергопотребление снижается, поскольку устройство нагревается по мере необходимости и сохраняет стабильную температуру, что позволяет работать круглосуточно с возможностью планирования периодов технического обслуживания.
Практические детали, которые необходимо учитывать Размер устройства компактный, но требуется точная настройка системы вентиляции, чистого сухого воздуха и стабильного напряжения. Настройка устройства занимает немного времени, но потребуется учитывать особенности используемого флюкса и структуры пластины.
Как только все настроено правильно, риск образования пустот и остатков флюкса снижается. Если флюкс подобран правильно, результаты будут соответствовать ожидаемым.