Het correct drogen van MEMS-wafers
Bij de productie van MEMS-sensoren is het belangrijk om vocht te verwijderen. Je wilt dat de wafer droog is, maar je kunt hem niet zomaar met hitte behandelen, want dan kan het substraat beschadigen of kunnen er restanten achterblijven.
Daarom gebruikten we infraroodverwarmers. We maken gebruik van kwartslampen met hoge intensiteit, waardoor het oppervlak in een paar seconden droogt. Het is erg snel.
Het evenwicht tussen vermogen en hitte
Je kunt niet zomaar het vermogen verhogen en hopen op het beste resultaat. Anders krijg je hotspots die de wafern beschadigen.
We besteden veel tijd aan het bepalen van de juiste combinatie van vermogen en spanning, afhankelijk van de grootte van de ruimte waarin de wafern worden verwerkt. Hoog vermogen zorgt inderdaad voor een hogere productiesnelheid, maar dit legt ook veel druk op de stroomvoorziening. Je moet goed opletten hoe ver de lampen zich bevinden en hoe vaak ze worden gebruikt, zodat de oppervlaktetemperatuur op het gewenste niveau blijft.
De onderdelen achter de schermen
We gebruiken kwarts van hoge zuiverheid voor de lampen. Waarom? Omdat je natuurlijk niet wilt dat er gassen vrijkomen die de schone omgeving vervuilen.
We gebruiken ook coatingën voor de lampen. Kortegolfradiatie werkt veel beter bij het wegnemen van vocht dan langegolfradiatie. Omdat deze lampen constant aan en uit gaan, hebben ze sterke connectoren nodig, zodat ze niet na een paar weken kapotgaan.
In de praktijk
Eerlijk gezegd is het niet zo eenvoudig om deze verwarmers in een MEMS-productielijn te integreren. De hittedichtheid is namelijk enorm. Als je geen goede koeling hebt, zal de hitte zich verspreiden over het chassis van de apparaten. En als de elektronica rondom oververhit raakt, heb je serieus problemen.
Een paar tips: gebruik lampen die gemakkelijk kunnen worden vervangen. Dit maakt het onderhoud veel gemakkelijker en zorgt voor minder stilstand. Gebruik ook altijd een gekalibreerde pyrometer om de oppervlaktetemperatuur te controleren voordat je een hele batch verwerkt. Het is een klein detail, maar het bespaart veel verspilde silicium.