Stop met het verhitten van uw apparatuur (en begin in plaats daarvan de wafers te verhitten)
Als u ooit gebruik hebt gemaakt van standaard resistieve verwarming, weet u hoe het gaat. U probeert de wafer op te warmen, maar u verhit uiteindelijk de hele binnenkant van de behuizing. Dat is een verspilling van energie, en eerlijk gezegd ook erg lastig. Niemand vindt het fijn om te maken te hebben met apparaten waarvan de wanden gevaarlijk heet worden bij aanraking.
Wij dachten dat er een betere manier moest zijn. In plaats van de lucht rondom het apparaat op te warmen, gebruiken we gerichte infraroodlampen.
Hier is het trucje: deze lampen stralen elektromagnetisch straling rechtstreeks op de wafer af. Omdat we kortegolflengte-infrarood gebruiken, wordt de energie genegeerd door de omringende lucht en dringt het rechtstreeks het materiaal binnen. Het resultaat? De wafer krijgt de benodigde warmte, terwijl de buitenkant van het apparaat koel blijft.
De details
We gebruiken hier geen goedkope glazen lampen. Deze lampen zijn omhuld met hoogdensitief kwarts, zodat ze niet breken wanneer de temperatuur snel stijgt en daalt.
Om het nog efficiënter te maken, passen we de brandpuntsafstand aan en voegen we een reflecterend oppervlak toe. Hierdoor wordt de warmte precies op de juiste plek geconcentreerd. U krijgt zo een precieze warmtestraal, zonder dat er warmte naar andere gebieden lekt.
Over de hardware
We gebruiken speciale connectoren om ervoor te zorgen dat alles goed verbonden blijft, zelfs wanneer er veel trillingen zijn in het apparaat. Als u deze lampen in een oud systeem plaatst, controleer dan goed de spanning. Lampen met hoge vermogens helpen u snel de gewenste temperatuur te bereiken, maar ze kunnen wel veel druk uitoefenen op de stroomvoorziening.
De nadelen
Het is natuurlijk geen magie. Er zijn een paar dingen waar u rekening mee moet houden.
Het grootste probleem is de gelijkmatigheid. Omdat de warmte zo gericht is, is het belangrijk dat de lamp op de juiste plaats staat. Als de lamp maar een paar millimeters scheef staat, ontstaan er temperatuurverschillen over de wafer. U zult dus wat extra tijd moeten besteden aan het instellen van de positie van de lamp en de hoek van de reflector, om zo ongewenste koude plekken te voorkomen.
Vergeet ook de ventilatie niet. Hoewel de wanden koel blijven, wordt de wafer zelf ondergedompeld in concentrée warmte. Als uw vacuümsysteem niet goed genoeg is, kan dit leiden tot uitstoot van giftige stoffen uit lijm of andere vervuilers. Zorg er dus voor dat uw vacuümsysteem in staat is om de maximale temperatuur aan te kunnen.