Het veilig houden van de componenten tijdens het verwarmen van wafers in gevarenzones
Laten we eerlijk zijn: het verwarmen van wafers in een chemisch reinigingsgebied is net alsof je met vuur speelt. Als er brandbare dampen in de lucht hangen, kan één enkele vonk of een thermisch ongeluk niet alleen tot technische problemen leiden, maar zelfs tot een ramp.
Om dit te voorkomen, hebben we stopgezet met het gebruik van lampen met open elementen. In plaats daarvan gebruiken we nu geïntegreerde infraroodsystemen. Hieronder leggen we uit hoe dit werkt.
Het geheim zit in de afsluiting
We laten de kwartsbuis niet zomaar bloot liggen. Dat is risicovol. Onze lampen zijn gehuld in een afgesloten, hoogwaardige kwarts- of saffierenhuls. Denk erbij aan als een soort beschermende huid die de elektrische filamenten beschermt tegen de lucht. Hierdoor kunnen corrosieve reinigingsmiddelen de lamp niet beschadigen. We gebruiken ook hermetische afsluitingen op de elektrodeverbindingen. Waarom? Omdat als chemicaliën in de bedrading komen, ze deze snel kunnen beschadigen.
Het beheersen van de warmte (en het risico)
Je kunt geen IR-lamp met een hoge vermogenssterkte gewoon naast een tank met vluchtige chemicaliën plaatsen. Dat leidt tot een explosie. We bepalen de veilige afstand door te kijken naar de piekstraling van de lamp en het brandpunt van de chemicaliën die worden gebruikt. Door de brandpuntsafstand aan te passen en reflectoren te gebruiken, können we de warmte precies op de wafers richten, terwijl de rest van de behuizing voldoende koel blijft om ontbranding te voorkomen.
De trade-offs
Niets is perfect. Het toevoegen van deze beschermende laag tussen de warmtebron en de wafers betekent dat er wat efficiëntie verloren gaat. Je zult merken dat de lamp niet zo krachtig werkt als een gewone lamp. Om dit goed te maken, moet je misschien de vermogenssterkte verhogen of de wafers wat langer onder de warmte houden om de gewenste temperatuur te bereiken.
Correct installeren
We gebruiken versterkte connectoren op deze apparaten om ontsteken te voorkomen. Maar het belangrijkste is om ervoor te zorgen dat de gronding goed is. Een slechte gronding in een chemisch milieu kan tot grote problemen leiden.
Een laatste tip: plaats een externe thermocouple op de buitenkant van de behuizing. Dit is je veiligheidsnetwerk. Stel hem zo in dat het systeem onmiddellijk de stroom uitschakelt als de behuizing te heet wordt. Beter een plotselinge stilstand dan een brand.