
Op de 300mm-lijn is het residu van de flux na het vormen van de bumps geen gewone vervuiling. Het is eerder een ‘betrouwbaarheidsbom’ die op het punt staat te ontploffen. Onvolledige verdamping kan leiden tot lege ruimtes en verbindingen tussen de onderdelen. Hierdoor stijgt de hoeveelheid afvalproducten, terwijl de thermische belasting boven de grens komt te liggen. We hebben dit systeem ontwikkeld om deze problemen al op de bron te voorkomen.
Wat er echt toe doet Het apparaat zorgt voor een snelle en gecontroleerde verdamping van de flux met behulp van kortegolflengtestraling. Hierdoor blijft de temperatuur over het hele oppervlak van de chip constant bij ±0,1°C. De kwartsemitters leveren schone, stofvrije warmte. De afvoerweg is compatibel met een schoonruimte van klasse 1–100, zodat er geen vervuiling in de kamer kan komen.
De herhaalbaarheid is geborgd in elke verhittingsscyclus – van zachte tot harde verhitting. De temperatuur en tijd worden nauwkeurig gereguleerd. Het carbonfiber-isolatiemateriaal zorgt voor stabiele temperaturen, zelfs wanneer er veel producten tegelijk worden verwerkt.
Waarom dit werkt in de praktijk Of het nu gaat om het drogen van chips, lithografie of het harden van chips in verpakkingsmaterialen: de eis is altijd dezelfde: thermische controle zonder dat dit invloed heeft op de kwaliteit van de producten. Dit systeem kan direct worden gebruikt in productielijnen, waarbij de flux nauwkeurig kan worden verwijderd, zonder dat de metalisering onder de bumps wordt beschadigd.
De verwerking van photoresist vindt binnen de vereiste toleranties plaats. De reinigings- en droogingscycli zijn sneller voltooid, waardoor er minder herwerkzaamheden nodig zijn. De energieverbruik neemt af, omdat het systeem alleen dan wordt opgewarmd wanneer dat nodig is. Hierdoor kan het systeem 24/7 draaien, met onderhoudstermijnen die gemakkelijk kunnen worden gepland.
Praktische details die belangrijk zijn Het apparaat is compact, maar er moet wel goed worden gezorgd voor de benodigde bronnen: een goede afvoer van lucht, schone en droge lucht, en een stabiele spanning. De installatie duurt niet lang, maar er moet wel worden aangepast aan de specifieke behoeften van de flux en de chipstructuur.
Zodra dit is geregeld, neemt het risico op fouten drastisch af. Als de flux goed wordt afgestemd op de behoeften van de chipstructuur, zorgen de resultaten zichzelf wel.