Hentikan alat pemanasan wafer daripada terlalu panas
Pernahkah anda perhatikan bagaimana cara pemanasan inframerah biasa menyebabkan seluruh kawasan menjadi terlalu panas? Ia sama seperti cuba menyalakan lilin menggunakan alat pemadam api. Anda ingin agar wafer menjadi panas, tetapi sebaliknya, seluruh ruang vakum akan menyerap semua tenaga haba tersebut.
Haba yang berlebihan ini merupakan masalah besar. Ia akan menjadikan badan alat tersebut menjadi penyerap haba yang sangat efektif, sehingga menyebabkan perubahan suhu yang tidak diinginkan. Yang lebih buruk lagi, ia boleh menyebabkan kecederaan pada orang-orang yang bekerja di bengkel tersebut.
Kami telah mencari cara yang lebih baik: pemanasan secara terarah.
Bagaimana ia berfungsi
Daripada memancarkan haba ke semua arah, kami menggunakan lampu inframerah gelombang pendek dan reflektor yang tepat. Bayangkanlah ia seperti peralihan dari mentol biasa ke laser. Energi dipancarkan secara langsung ke permukaan wafer.
Hasilnya? Dinding bilik pemanasan tetap sejuk. Anda masih dapat mencapai kelajuan pemanasan yang cepat yang diperlukan untuk proses RTP, tetapi badan alat tersebut tidak akan terlalu panas.
Cabaran yang perlu dihadapi
Kami menggunakan tiub kuarsa berkuasa tinggi kerana ia mampu menghasilkan haba yang banyak. Tiub-tiub ini direka untuk memberikan kuasa yang tinggi, jadi wafer akan mencapai suhu yang diinginkan dalam masa beberapa saat sahaja.
Namun, anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Kerana pancaran haba yang sangat intensif, suhu di titik fokus akan menjadi sangat tinggi. Jika sistem penyejukan tidak mampu menangani beban ini, maka akan timbul kawasan panas pada wafer. Ini merupakan kompromi yang perlu dihadapi, tetapi ia mudah dikendalikan jika spesifikasi alat tersebut sesuai.
Membuat bengkel lebih selamat
Apabila dinding bilik pemanasan tidak lagi menyerap haba yang berlebihan, permukaan luar mesin akan tetap sejuk. Ini merupakan kelebihan yang besar bagi mereka yang bertugas memuatkan alat atau melakukan penyelenggaraan. Tidak perlu lagi mengelak daripada permukaan yang panas.
Selain itu, komponen pengedap dan gasket juga akan bertahan lebih lama. Biasanya, komponen-komponen ini rosak lebih awal kerana terdedah kepada haba yang berlebihan. Kini, ia boleh berfungsi dengan baik.
Yang terbaiknya? Komponen-komponen ini boleh digunakan sebagai pengganti yang mudah. Anda hanya perlu sambungkannya ke sistem kawalan yang sedia ada, dan kesan pemanasan akan menjadi lebih terkawal. Sangat mudah.