真空チャンバー用赤外線ヒーター

真空式IR加熱と強制送風：どちらが本当に効果的か？ 半導体の高度な加工を行う場合、熱制御の難しさはよくわかるでしょう。これは、作業をスムーズに進めるための鍵とも言えますが、一方でウェーハの品質を台無しにしてしまう要因にもなり得ます。多くの工場では依然として強制送風方式を使っていますが、最近では真空...