Cara yang Tepat untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Saat memproduksi sensor MEMS, menghilangkan kelembapan merupakan hal yang sulit dilakukan. Wafer perlu dikeringkan, tetapi Anda tidak boleh menggunakan panas yang berlebihan, karena hal tersebut akan merusak substrat atau menyisakan sisa-sisa kotoran di permukaannya.
Di sinilah peran pemanas inframerah kami bermanfaat. Kami menggunakan lampu kuarsa bertekanan tinggi yang mampu mengeringkan permukaan wafer dalam waktu beberapa detik saja. Prosesnya sangat cepat.
Keseimbangan antara Daya dan Panas
Yang perlu diperhatikan adalah: Anda tidak bisa sembarangan meningkatkan daya pemanas. Jika demikian, akan tercipta titik-titik panas yang dapat merusak wafer. Kami menghabiskan banyak waktu untuk menentukan kombinasi daya dan voltase yang tepat, sesuai dengan ukuran ruang produksi. Memang, daya yang lebih tinggi akan meningkatkan kecepatan proses produksi, tetapi hal ini akan memberikan beban berat pada sistem pasokan listrik. Anda perlu menyesuaikan jarak antara lampu dan permukaan wafer, serta siklus kerja lampu, agar suhu permukaan tetap sesuai dengan standar yang ditentukan.
Komponen-Komponen Penting
Kami menggunakan kuarsa berkualitas tinggi untuk pembuatan lapisan pelindung lampu. Mengapa? Karena yang paling tidak diinginkan adalah adanya emisi gas yang dapat mencemari ruang produksi yang bersih. Kami juga menggunakan lapisan pelindung ber gelombang pendek. Gelombang inframerah ber gelombang pendek mampu menembus lapisan kelembapan dengan lebih baik dibandingkan radiasi ber gelombang panjang. Karena lampu ini harus digunakan secara terus-menerus, kami menggunakan koneksi yang kokoh agar lampu tidak rusak setelah beberapa minggu penggunaan.
Masalah yang Dihadapi di Dunia Nyata
Sejujurnya, memasang pemanas ini ke dalam line produksi MEMS bukanlah hal yang mudah. Intensitas panasnya sangat tinggi. Jika Anda tidak memiliki sistem pendinginan yang efektif, panas tersebut akan merusak komponen-komponen elektronik di sekitarnya. Jika hal ini terjadi, Anda akan menghadapi masalah serius.
Beberapa tips dari praktik lapangan:
Pilihlah lampu pengganti yang mudah dipasang. Hal ini akan mengurangi beban perawatan dan meminimalkan waktu henti produksi. Selain itu, gunakan alat pengukur suhu yang akurat untuk memeriksa suhu permukaan wafer sebelum memulai proses produksi. Ini merupakan langkah kecil yang dapat menghemat banyak silikon yang terbuang.