در سالن تولید، یک ویفر 300 mm روی خط قرار دارد و منتظر نرمپخت است که پروفایل فوتورزیست را تثبیت میکند. اگر صفحه گرمکن کمی جابهجا شود، کنترل عرض خط به هم میریزد و کل دسته ممکن است به ضایعات تبدیل شود. ما لامپهای حرارتی XRD را ساختیم تا این تغییرپذیری را حذف کنیم.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد
لامپها با استفاده از مادون قرمز کوتاهموج و عناصر هالوژن کوارتز کار میکنند و حرارت را مستقیماً به محل مورد نیاز منتقل میکنند. یکنواختی دما در سراسر ویفر در محدوده ±0.1°C حفظ میشود و تکرارپذیری تنظیم دما در هر بار اجرای فرآیند دقیق باقی میماند. این لامپها در اتاقهای تمیز کلاس 1–100 قرار دارند و در حین کار تولید ذرات کمتر از 0.1 ذره بر سانتیمتر مکعب است. خروجی آنها در بیش از 5,000 ساعت پایدار باقی میماند و انحراف شدت نور کمتر از 5% است.
دلیل کارایی در لیتوگرافی
نرمپخت مرحلهای است که در آن حلالها خارج شده و تنش فیلم تنظیم میشود. سپس سختپخت پروفایل پخته شده را برای حکاکی و ایمپلنت تثبیت میکند. این لامپها به سرعت به دمای مورد نظر میرسند، زمان پخت را کوتاه میکنند و بودجه حرارتی را پاک نگه میدارند. نتیجه آن عملکرد یکنواخت در ابعاد بحرانی، کاهش نیاز به بازکاری و مصرف انرژی کمتر به ازای هر ویفر است.
همچنین هنگام خشککردن ویفرها پس از شستشو، همان کنترل دما از بروز میعان مجدد و لکههای آبی جلوگیری میکند و بنابراین بازده حفظ میشود.
نکاتی که باید در نظر داشت
فضای اشغالی این لامپها جمع و جور است و در بیشتر ماژولهای Track و Coater قابل نصب است، اما ادغام آن نیاز به دقت دارد. مسیر نوری را کنترل کنید، از پایداری منبع تغذیه اطمینان حاصل کنید و مسیر تخلیه گازهای فرار را بررسی نمایید.
یک دوره گرمشدن کوتاه برای رسیدن به دمای تنظیم وجود دارد—فرمولهای پخت خود را بر اساس این افزایش دما برنامهریزی کنید. پس از تنظیم دقیق تراز و کالیبراسیون، پنجره فرآیند بدون افزایش پیچیدگی باز میشود.