Wie man Ozon in den IR-Trocknungsprozessen beseitigt
Bei der Herstellung von Halbleitern möchte man auf keinen Fall einen Trocknungsprozess verwenden, der die Wafer beschädigt oder den Reinraum zu einer Gefahrenquelle macht. Deshalb nutzen wir ozongfreie Infrarotlampen. Dadurch können alle Anforderungen bezüglich Umweltschutz und Vermeidung von Blei erfüllt werden – ohne zusätzliche Probleme.
Warum Ozon ein Problem darstellt
Das Problem ist folgendes: Standard-Lampen mit kurzwelligem Infrarotstrahlungsende geben Strahlung im Bereich von 185 nm bis 254 nm ab. Diese Wellenlängen bewirken, dass das Sauerstoffgas in der Luft in Ozon umgewandelt wird.
In einer Fabrik ist Ozon eine echte Belastung – es zerstört die Werkzeuge und macht die Luft für die Mitarbeiter gefährlich. Das will natürlich niemand.
Lösung: Ozongfreie Lampen
Wir lösen dieses Problem, indem wir Quarztuben mit speziellen Beschichtungen oder Dopingstoffen verwenden. Das funktioniert wie ein Filter für das VUV-Spektrum. Indem alle Strahlungen unter 200 nm blockiert werden, bleibt trotzdem genug Energie für den Trocknungsprozess übrig – doch die chemische Reaktion, die zum Entstehen von Ozon führt, wird verhindert. Einfach.
Vorteile für Ihre Anlage
Der größte Vorteil: Sie benötigen keine riesigen Absauganlagen, um das Ozon aus der Luft zu entfernen. Die Trocknungsanlage nimmt weniger Platz ein, und Sie verschwenden keine Energie mehr für überflüssige Belüftungssysteme.
Außerdem wird die Energie direkt an das Substrat abgegeben. Sie verschwenden keine Zeit damit, die Luft um das Teil zu erwärmen – stattdessen wird das Teil selbst erhitzt. Deshalb eignet sich dieser Ansatz hervorragend für umweltfreundliche Harze sowie bleifreie Lötpasten.
Ein Hinweis auf die Kompromisse
Da wir das VUV-Spektrum filtern, ändert sich die Energieverteilung etwas. Vielleicht müssen Sie die Geschwindigkeit des Transports oder die Zeit, in der das Teil getrocknet wird, anpassen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen. Wenn Sie eine Hochleistungsanlage betreiben, überprüfen Sie unbedingt die Steigerungsraten, damit alles wie gewünscht funktioniert.
Einfache Installation
Diese Lampen sind als Ersatz für bestehende IR-Lampen konzipiert. Falls Sie bereits IR-Tunnel haben, passen diese Lampen einfach hinein. Sie arbeiten mit standardmäßigen Industrie-Spannungen, sodass Sie sie einfach in Ihre vorhandenen Steuergeräte anschließen können.
Tipp: Halten Sie die Quarztuben sauber. Wenn Staub auf dem Glas entsteht, entstehen Hotspots – das kann dazu führen, dass der Filament schneller ausbrennt. Halten Sie die Lampen sauber, dann halten sie länger.