
Ihren Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber halten – auch bei hohen Temperaturen
Wenn man in einem Reinraum der Klasse 100 arbeitet, ist die Temperatur nur die halbe Miete. Das eigentliche Problem sind die Partikel.
Die meisten Standardheizgeräte sind problematisch: Sie geben Gase ab oder lassen kleine Teilchen freie, die in Sekundenschnelle eine Waferbeschichtung zerstören oder eine optische Linse verunreinigen können. Das ist ein Desaster, das jederzeit eintreten kann. Deshalb verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz-Infrarotlampen.
Warum Quarz wichtig ist
Wir verwenden gefüllten Siliziumdioxid mit hohem OH-Gehalt. Einfach ausgedrückt: Die Lampe zerfällt nicht, wenn sie heiß wird.
Billiges Glas hingegen gibt bereits bei Erreichen der maximalen Temperatur flüchtige organische Verbindungen ab. Unser Quarz tut das nicht – er bleibt stabil und inaktiv.
Außerdem nutzen wir Kurzwellen-Infrarotstrahlung. Anstatt die Luft um das Werkstück zu erwärmen, trifft die Strahlung direkt auf das Werkstück. Das ist großartig, denn so werden Konvektionsströmungen verhindert, die Staub vom Boden aufhetzen und ihn direkt auf das Werkstück bringen könnten.
Die richtige Einrichtung
Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie wasserdicht sind. Wir verwenden spezielle Dichtungen an den Elektroden, damit kein metallischer Staub aus den Enden der Lampe entweichen kann. Achten Sie darauf, dass die Anschlussstellen absolut sauber sind. Jeglicher oxidierte Rückstand kann später Probleme verursachen.
Diese Lampen liefern viel Wärme in einem sehr kleinen Raum. Doch es gibt einen Haken: Aufgrund der hohen Leiststoffdichte darf man die Lampe nicht einfach irgendwo fest installieren. Der Gehäuse muss atmen können. Wenn man die Lampe zu eng in einen reflektierenden Raum einbaut, ohne dass dort Luft zirkulieren kann, kann das die Leitungen des Controllers schädigen.
Die Kompromisse
Diese Lampen eignen sich hervorragend zum Trocknen von Halbleitern sowie zur Bearbeitung hochwertiger medizinischer Geräte. Man erhält sofort Wärme – und das Werkstück bleibt rein.
Denken Sie jedoch daran, dass hochreiner Quarz etwas brüchiger ist als dotierter Quarz. Wenn Ihre Maschinen vibrieren oder mechanische Belastungen ausgesetzt sind, sollten Sie die Lampen nicht einfach festmachen. Verwenden Sie stattdessen eine gedämpfte Befestigungsmethode. Das ist eine einfache Maßnahme, die dazu beiträgt, dass die Lampen nicht zerbrechen.