
Hören Sie auf, Ihre Maschine statt des Wafers zu erhitzen!
Das Problem bei herkömmlichen Infrarotlampen besteht darin, dass sie Wärme überallhin abgeben – in alle Richtungen. Wenn man in einem engen Halbleiterraum arbeitet, ist das ein Albtraum. Eine enorme Menge an Energie geht völlig an dem Wafer vorbei und trifft stattdessen direkt die Innenwände der Ausrüstung. Dadurch entstehen „heiße Zonen“ an der Außenhülle der Maschine – das kann den Bediener verletzen oder dazu führen, dass die Prozesstemperaturen nicht mehr konstanthalten werden. Es ist frustrierend – und im Grunde genommen eine Verschwendung von Ressourcen.
Die ideale Lösung
Wir lösen dieses Problem, indem wir eine dünne Goldschicht auf die hintere Hälfte der Quarzhülle auftragen. Man kann sich das wie einen Spiegel für Infrarotstrahlung vorstellen. Anstatt dass die Wärme in das Gehäuse der Maschine zurückfließt, wird sie durch das Gold nach vorne reflektiert. So gelangt die Energie genau dorthin, wo sie hingehört – zum Werkstück. Dadurch erhalten Sie mehr Leistung am Werkstück, während viel weniger Energie in das Gehäuse der Maschine gelangt. Sie müssen also nicht mehr für die Erwärmung der Luft sowie der Wände der Maschine bezahlen.
Die Nachteile
Der Vorteil ist, dass man höhere Leistungen nutzen kann, ohne dass die Außenhülle der Maschine zu einer Gefahr wird. Dadurch wird es viel einfacher, die Schutzelemente der Maschine zu gestalten. Doch Achtung: Diese Lampen konzentrieren die Wärme. Wenn der Fokuspunkt leicht fehlt oder das Material der Wafer die Hitze nicht aushält, können „heiße Stellen“ entstehen. Sie sollten auch Ihre PID-Controller überprüfen – schließlich ändert sich durch die schnellere Wärmeabgabe die Zeit bis zur Erreichen der gewünschten Temperatur.
Einfache Installation
Der Vorteil dieser Lampen ist, dass sie einfach als Ersatz für die herkömmlichen Kurzwellen-Infrarotröhren verwendet werden können. Man schließt sie einfach an die vorhandene Stromversorgung an – schon sinkt die Temperatur des Gehäuses sofort. Es handelt sich dabei um eine einfache Lösung, um das Problem der „heißen Wände“ zu beseitigen, ohne die Kühlstruktur der Maschine neu gestalten oder zusätzliche Isoliermaterialien verwenden zu müssen.