Hören Sie auf, Energie in Ihrem Reinraum zu verschwenden!
Wenn Sie schon einmal damit zu tun hatten, Siliziumwafers zu erhitzen, wissen Sie, wie frustrierend das ist. Man gibt Energie in den Ofen – doch ein großer Teil dieser Energie geht einfach verloren. Sie wird von den Wänden reflektiert oder entweicht ins Gehäuse. Das ist eine Verschwendung von Strom und Zeit.
Wir haben eine Lösung gefunden, um diesen Energieverlust zu vermeiden. Wir verwenden goldbeschichtete Reflektoren, die jede einzelne Watt-Einheit direkt auf die Wafer leiten.
Warum Gold?
Es klingt vielleicht luxuriös, aber es hat eigentlich mit der Physik zu tun. Gold ist hervorragend darin, Infrarotenergie zu reflektieren. Im Vergleich dazu neigen Aluminium oder poliertes Stahl dazu, im Laufe der Zeit zu oxidieren. Sie wissen ja, wie ein Spiegel trüb wird – genau das passiert auch mit günstigeren Reflektoren. Sie werden stumpf, die Hitze nimmt ab – und die Qualität der Produkte leidet. Gold hingegen bleibt über Tausende von Zyklen hinweg hell und effizient. Es leitet die Wärme direkt auf die Wafer weiter, anstatt sie im Gerät zu lassen.
Die Wärme genau dorthin bringen, wo sie hingehört
Wenn man diese goldenen Reflektoren mit hochwertigen IR-Lampen kombiniert, erhält man einen stark konzentrierten Energiefokus. Das ist der Unterschied zwischen einer Glühbirne und einem Laser: Man heizt nicht nur die Luft um die Wafer herum auf, sondern trifft das Substrat direkt mit Photonen. Dadurch sind die Aufwärmzeiten viel kürzer – und man kann die Temperatur über die gesamte Oberfläche der Wafer genau kontrollieren.
Die „Fallstricke“
Es gibt jedoch auch Nachteile. Da wir die Wärme so effektiv konzentrieren, wird der Lampengehäuse sehr heiß. Wenn man auf die Kühlventilatoren oder Kühler verzichtet, bekommt man Probleme. Schwacher Luftstrom kann die Lampensockel zerstören oder die Halterungen verformen – noch bevor man überhaupt merkt, dass etwas nicht in Ordnung ist.
Achten Sie außerdem auf Ihre Stromversorgung. Diese Systeme benötigen zwar wenig Platz und passen in die meisten bestehenden Anlagen, doch sie verbrauchen viel Energie, sobald sie eingeschaltet werden. Wenn Ihr Sicherungskasten nicht ausreichend dimensioniert ist, müssen Sie jedes Mal zum Elektrikschrank gehen, wenn der Heizer aktiv wird. Das ist keine gute Art, seinen Nachmittag zu verbringen.