Lösung des Problems der übermäßigen Hitze in Transportwagen für Reinräume
Haben Sie schon einmal ein Gerät berührt und dabei fast zurückgesprungen, weil es extrem heiß war? Das ist das Problem mit herkömmlichen Heizelementen – sie geben die Wärme in alle Richtungen ab, also in 360 Grad.
In Transportwagen für Halbleiterfabriken ist das ein Albtraum. Anstelle dazu, nur die gewünschte Stelle zu erwärmen, dringt die Energie in die Innenseiten des Wagens ein. Der gesamte Wagen wird somit zu einer Art „Radiator“. Dadurch wird Energie verschwendet – und schlimmer noch: Die Bediener können verbrannt werden.
So lösen wir das Problem: Richtungsabhängige IR-Heizung
Anstatt die Wärme überallhin abzugeben, verwenden wir IR-Lampen mit reflektierenden Beschichtungen. Stellen Sie sich das wie eine Taschenlampe vor – statt einer herkömmlichen Glühbirne. So wird die gesamte thermische Energie direkt auf das Wafer oder Substrat gerichtet.
Das Ergebnis? Die Wärme gelangt genau dorthin, wohin sie gehört – während die Wände weiterhin angenehm kühl bleiben.
Sicherheit für die Menschen – ohne Überdimensionierungen
Durch die gezielte IR-Heizung entsteht eine große Temperaturdifferenz zwischen der Heizzone und der Außenhülle des Wagens. Das ist ein großer Vorteil für die Sicherheit. Das Personal muss keine heißen Stellen vermieden – außerdem muss man keine dicken, sperrigen Isolierschichten verwenden. In einem Reinraum ist jeder Quadratzentimeter wertvoll. Dadurch bleibt die Größe des Wagens gering.
Die Herausforderungen
Es handelt sich dabei zwar nicht um einen „Zauberstab“, aber es gibt trotzdem einige Herausforderungen. Da diese Lampen so stark fokussiert sind, entsteht am Fokuspunkt eine intensive Hitzequelle. Wenn die Einstellungen falsch sind oder die Entfernung nicht stimmt, kann das Material bereits nach wenigen Sekunden beschädigt werden. Es ist also wichtig, genau auf die Entfernung sowie den Betriebsmodus zu achten. Wir empfehlen in der Regel den Einsatz eines PID-Reglers – dieser hält die Temperatur konstant, sodass man nicht raten muss.
Warum das für den täglichen Gebrauch wichtig ist
Der größte Unterschied ist die Geschwindigkeit. Man verschwendet keine Zeit mehr mit dem Erwärmen der Luft sowie des Metallrahmens der Maschine. Alles läuft viel schneller. Zudem wird es für die Elektronik im Inneren des Wagens einfacher – schließlich muss sie nicht mit der enormen Hitze fertigwerden. Man braucht lediglich einen Präzisions-Timer – dann hat man eine Lösung, die sowohl für die Bediener sicher als auch für den Prozess präzise ist.