Die Reinheit der Wafer bewahren: Die Realität von Vakuum-IR-Heizungen
In einer Fabrik mit hoher Produktionskapazität ist ein Ausfall der Lampe ein Albtraum. Es geht nicht nur darum, dass die Maschine vorübergehend stillsteht. Wenn eine Quarzröhre in der Vakuumkammer platzt, fliegen Glassplitter sowie schädliche Gase überall herum. Ein einziger defekter Lampen kann damit ganze Chargen an Wafern kontaminieren.
Deshalb bauen wir keine einfachen Heizungen – sondern solche, die sicher funktionieren, selbst wenn etwas schiefgeht.
Umgang mit der Hitze
In Vakuumverhältnissen verhält sich die Hitze anders. Da es kein Luftmedium gibt, das die Hitze weiterleitet, muss die Lampe die gesamte Arbeit durch Strahlung erledigen. Das setzt dem Quarz enormen Druck aus.
Um zu verhindern, dass die Röhren bei den schnellen Erwärmungs- und Abkühlzyklen zerbrechen, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser dehnt oder schrumpft kaum im Vergleich zu billigerem Quarz – somit kann er den Druck aushalten, ohne zu zerbrechen.
Der „Sicherheitsmechanismus“
Wir gehen davon aus, dass etwas schiefgehen könnte. Deshalb bieten wir eine physische Sicherungseinrichtung an. Die meisten unserer Heizungen verfügen über einen zusätzlichen Schutzring oder eine spezielle Beschichtung. Das kann man als „Sicherheitskäfig“ betrachten. Wenn die Hauptröhre versagt, hindert diese Barriere daran, dass der Glühfaden sowie andere Schadstoffe in die Arbeitszone gelangen. Auch für die Dichtungen verwenden wir keramische und metallische Materialien von hohem Qualitätsstandards – schließlich möchte man auf keinen Fall, dass kleine Stücke Schmutz in die Wafer gelangen.
Das Problem mit der Leistung
Hier liegt das Schwierige: Jeder möchte schnellere Aufheizzeiten. Um diese Geschwindigkeit zu erreichen, braucht man eine hohe Leistung. Doch wenn man zu viel Leistung in eine kurze Röhre steckt, steigt der Druck des inneren Halogengases stark an. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem – man muss sicherstellen, dass die Vakuumpumpe den entstehenden Gasausstoß bewältigen kann.
Und noch ein Hinweis: Überlasten Sie die Lampen nicht, nur um ein paar Sekunden Zeit zu sparen. Wenn man die Lampen über ihre zulässige Leistungsgrenze hinaus belastet, führt das schnell zum vorzeitigen Verschleiß.
Wir bauen diese Geräte so, dass sie auch unter den Anforderungen einer 24/7-Produktion standhalten können. Durch besondere Aufmerksamkeit für die Qualität des Quarzes sowie der Dichtungen sorgen wir dafür, dass nur die Hitze auf die Wafer wirkt.