Инфракрасное нагревание против нагрева горячим воздухом: перестаньте терять время на обработку полупроводниковых пластин
Если вы по-прежнему используете для обработки полупроводников горячий воздух, вы фактически теряете время зря.
Проблема в том, что воздух плохо передает тепло. При использовании принципа принудительной конвекции необходимо сначала нагреть воздух, затем камеру, а уже потом саму пластину. Это медленный процесс. К тому же существует задержка, которая сокращает время производства.
Отказ от посредников
Поэтому мы используем инфракрасные лампы. Вместо ожидания нагрева воздуха, инфракрасные лампы направляют электромагнитное излучение прямо на поверхность пластины. Это происходит мгновенно. Мы используем специальные отражатели, чтобы направить энергию именно туда, где она нужна. Таким образом, вы не тратите время на нагрев корпуса устройства. Вы достигаете желаемой температуры за считанные секунды. Когда вы перестаете ждать, время производства значительно сокращается.
Ключевую роль играют отражатели
Самое важное – это дизайн отражателей. Если использовать дешевые отражатели, половина энергии будет потрачена впустую. Мы используем отражатели с высокой степенью отражения, чтобы каждый фотон возвращался на пластину. Это создает равномерную температуру на поверхности пластины. Более того, пластина не деформируется.
Недостатки
Это не волшебная палочка. Есть свои недостатки. Инфракрасные лампы с высокой плотностью излучения становятся очень горячими. Если отражатели не справляются со своей функцией или охлаждающие вентиляторы не могут справиться с нагрузкой, это может привести к разрушению ламп или деформации корпуса устройства. Необходимо правильно сбалансировать мощность лампы с эффективностью системы охлаждения.
Реальность на практике
Для тех, кто устал от медленного нагрева с помощью воздуха, инфракрасное нагревание – это отличное решение. Оно сокращает размеры оборудования для обработки пластин и устраняет задержки, связанные с использованием воздуха. Просто подключите оборудование, настройте отражатели, и вы увидите, как сократится время обработки.