Уменьшение выбросов углерода на производстве: почему использование инфракрасного излучения – это разумный выбор
Давайте будем честны: производственные цеха по производству полупроводников потребляют огромное количество энергии. Если посмотреть, куда идет вся эта энергия, окажется, что значительная ее часть тратится на тепловую обработку.
На протяжении многих лет для этой цели использовались большие конвекционные печи. Но здесь есть проблема: они тратят слишком много энергии на нагрев воздуха и стенок печи, чтобы достичь нужной температуры для пластин. Это является расточительством.
Поэтому мы используем сертифицированные инфракрасные лампы. Вместо нагрева всей комнаты, инфракрасное излучение воздействует непосредственно на пластину или фоторезист. Это позволяет значительно сократить время обработки.
Логика экономии энергии
Возьмем обычную печь – она работает медленно. Необходимо нагревать огромное количество воздуха, и тепло теряется с каждой секундой. Наши инфракрасные системы используют коротковолновое излучение. Тепло достигает поверхности пластины почти мгновенно. Нет необходимости ждать. Благодаря быстрому нагреву сокращается время обработки, а значит, оборудование не должно работать часами подряд для завершения одного цикла производства.
Кроме того, эти лампы имеют высокую плотность мощности. Благодаря этому вся система нагрева занимает меньше места. А поскольку не выделяется большое количество тепла, системе вентиляции не нужно прилагать такие усилия для поддержания прохлады в цеху.
Практическое применение и важные моменты
Мы создаем такие лампы специально для чистых комнат. Это означает отсутствие выбросов газов и частиц. Мы используем кварцевые корпуса высокой чистоты, потому что нельзя допустить загрязнения, которое может испортить процесс производства.
Но есть один важный момент, связанный с электропитанием. Эти лампы потребляют огромное количество энергии сразу после включения. Если ваша электросеть не предназначена для таких нагрузок, вы будете постоянно выключать автоматические выключатели.
Еще одна проблема заключается в том, что коротковолновое инфракрасное излучение очень интенсивно. Если конвейер останавливается хотя бы на несколько секунд, температура резко возрастает. Поэтому необходимо использовать защитные механизмы. Как только конвейер останавливается, поток энергии должен прекратиться, иначе пластины могут сгореть прямо перед вашими глазами.
Что это дает в практике
В итоге, переход на использование инфракрасного излучения позволяет снизить расход энергии на единицу продукции. Это простой способ сокращения углеродного следа.
Самое лучшее в том, что такие лампы можно использовать вместо старых устройств для обработки. Это позволяет увеличить объем производства и снизить выбросы, без необходимости полной замены всей производственной линии.