와이퍼를 깨끗하게 유지하기: 진공 IR 히터의 현실 대량 생산을 하는 반도체 공장에서는 램프가 고장 나는 것은 재앙과 같습니다. 단순히 기계가 잠시 멈추는 문제가 아닙니다. 만약 진공 챔버 내부의 석영관이 파열된다면, 유리 조각들과 유해 가스들이 사방으로 퍼져나갑니다...

진공 상태에서의 적외선 가열과 강제 공기 순환 방식: 어떤 방식이 실제로 효과적일까요? 반도체를 깊이 있게 가공할 때는 온도 제어가 매우 중요합니다. 이는 작업 성공 여부를 결정하는 핵심 요소입니다. 많은 공장들은 여전히 강제 공기 순환 방식을 사용하고 있지만, 최근...