클래스 100 클린룸을 항상 깨끗하게 유지하는 방법 (온도를 높일 때도 마찬가지입니다.)
클래스 100 클린룸에서 작업할 때는 온도만이 중요한 요소가 아닙니다. 진짜 문제는 바로 미세한 입자들입니다.
대부분의 일반적인 히터들은 문제를 일으킬 수 있습니다. 이러한 히터들은 가스를 방출하거나 작은 파편들을 내보내는데, 이 파편들은 웨이퍼를 손상시키거나 광학 렌즈에 얼룩을 남길 수 있습니다. 이는 재앙으로 이어질 수 있습니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 적외선 램프를 사용합니다.
석영이 왜 중요한가요?
우리는 OH- 함량이 높은 융합 실리카를 사용합니다. 간단히 말해, 열이 가해져도 램프가 파손되지 않습니다.
저가형 유리 조각들은 최고 온도에 도달하자마자 휘발성 유기 화합물을 방출합니다. 하지만 우리가 사용하는 석영은 그렇지 않습니다. 석영은 안정적으로 유지됩니다.
또한, 우리는 단파 적외선을 사용합니다. 이를 통해 부품 주변의 공기가 가열되는 대신, 복사열이 직접 목표물에 닿습니다. 이는 바닥의 먼지가 부품 위로 날아가는 것을 막는 데 큰 도움이 됩니다.
올바른 설치 방법
우리는 이 램프들이 누수가 없도록 설계했습니다. 전극에 특수한 밀봉 처리를 해서 금속 가루가 램프 끝부분에서 새어 나가지 않도록 합니다. 연결 부위도 깨끗하게 유지해야 합니다. 남아 있는 산화된 잔여물들은 나중에 문제를 일으킬 수 있습니다.
이 램프들은 매우 강력한 열을 발생시킵니다. 작은 공간 안에서도 엄청난 열을 얻을 수 있습니다.
하지만 주의해야 할 점은, 높은 에너지 밀도 때문에 램프를 너무 조이게 설치하면 안 된다는 것입니다. 램프가 있는 공간에 공기가 들어갈 수 있도록 해야 합니다. 그렇지 않으면 컨트롤러의 회로가 손상될 수 있습니다.
장단점
이 램프들은 반도체 건조나 고급 의료 기기의 경화 과정에 적합합니다. 즉시 열을 얻을 수 있으며, 부품도 깨끗하게 유지됩니다.
다만, 고순도 석영은 도핑된 석영에 비해 다소 부서지기 쉽다는 점을 기억해야 합니다. 만약 기계가 진동하거나 기계적 충격을 받는다면, 램프를 그냥 고정시키면 안 됩니다. 완충 처리된 마운팅 브라켓을 사용해야 합니다. 이 simples한 조치만으로도 램프가 깨지는 것을 막을 수 있습니다.