IR硬化処理におけるオゾンの除去 半導体を製造する際、最も避けたいのが、ウェーハを損傷させたり、クリーンルームを危険な場所に変えてしまうような乾燥処理です。そのため、私たちはオゾンを発生させないIRランプを使用しています。これにより、誰もが面倒な手間をかけずに、環境に優しく、鉛を含まない製品を作ることができます。
なぜオゾンは問題なのか
問題は、一般的な短波長IRランプが185nmから254nmの範囲の放射線を放出する点です。この波長の光は空気中の酸素と反応し、オゾンを生成します。 工場では、オゾンは大きな問題です。オゾンは機器を腐食させ、実際に機械を操作する人々にとっても危険です。誰もそれを望みません。 これを解決するために、特殊なコーティングやドーパントを施した石英管を使用します。これはVUVスペクトルのフィルターのようなものです。200nm未満の光を遮断することで、ランプは硬化に必要な熱を供給しつつ、オゾンが生成される化学反応を防ぎます。シンプルですね。
これがあなたの工場に与える影響
最良の点は、空気中のガスを除去するための巨大で重い排気システムが不要だということです。硬化ステーションの占有スペースも減り、過剰な換気によるエネルギーの無駄遣いもなくなります。 また、このランプはエネルギーを直接基材に届けます。部品周辺の空気を温める時間を無駄にすることなく、部品自体を直接加熱できます。だからこそ、この方法は環境に優しい樹脂や鉛フリーのはんだペーストにとって非常に効果的なのです。 ただし、VUVスペクトルをフィルタリングするため、エネルギーの分布が少し変わります。目標温度を達成するためには、コンベヤーの速度や保持時間を調整する必要があるかもしれません。高い生産性が求められる場合は、すべてが適切に機能しているかを確認してください。
設置方法
これらのランプは、既存のIRランプの代わりにすぐに使用できます。もし既にIRランプを持っている場合、これらをそのまま取り付けるだけで済みます。標準的な工業用電圧で動作するので、既存のコントローラーに接続するだけで使用できます。 一つのアドバイスとして、石英管を清潔に保つことです。ガラス表面にほこりが溜まると、熱点が生じ、フィラメントが早く壊れてしまいます。常に清潔にしておけば、長期間使用できます。