ウェーハを清潔に保つために：真空式IRヒーターの実態 大量生産を行う半導体工場では、ランプが故障すると大変な問題になります。単に機械が一時的に停止するだけでは済みません。もし真空チャンバー内でクォーツ管が破損すれば、ガラスの破片や有害なガスがあちこちに飛び散ります。1つのランプが故障するだけで、一...

真空式IR加熱と強制送風：どちらが本当に効果的か？ 半導体の高度な加工を行う場合、熱制御の難しさはよくわかるでしょう。これは、作業をスムーズに進めるための鍵とも言えますが、一方でウェーハの品質を台無しにしてしまう要因にもなり得ます。多くの工場では依然として強制送風方式を使っていますが、最近では真空...