クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つために（加熱しながらも）
クラス100のクリーンルームで作業する際、温度は重要な要素の半分に過ぎません。本当の問題は、粒子です。
一般的なヒーターは危険です。それらはガスや微小な破片を放出し、わずか数秒でウェハーを損傷したり、光学レンズに汚れを付けてしまったりします。これはまさに災害の元です。だからこそ、私たちは高純度の合成石英製の赤外線ランプを使用しているのです。
石英が重要な理由
私たちはOH-含有量が高い融結シリカを使用しています。簡単に言えば、高温になっても管が壊れないのです。
安価なガラスの破片は、最高温度に達すると揮発性有機化合物を放出します。しかし、私たちの石英はそうではありません。安定しており、反応しません。
さらに、短波長の赤外線を使用しています。部品周辺の空気を温めるのではなく、放射線が直接対象物に当たります。これにより、対流によって床のほこりが持ち上がり、部品に付着するのを防げます。
正しい設置方法
これらのランプは漏れがないように設計されています。電極部分には特別な密封処理が施されており、金属の粉が管の端から漏れ出ることはありません。ただし、配線する際は、接続点が完全に清潔であることを確認してください。酸化した残留物が残っていると、後で問題が発生する可能性があります。
これらのランプは非常に強力です。狭いスペースで大量の熱を供給できます。
しかし、注意点もあります。その高い出力密度のため、ランプを狭い場所に押し込むことはできません。ケースには十分な空間が必要です。もし反射室に密閉してしまうと、コントローラーの配線が壊れてしまいます。
テーコンディション
これらのランプは、半導体の乾燥や高性能医療機器の硬化に最適です。瞬時に熱を供給でき、部品もきれいな状態を維持できます。
ただし、高純度の石英はドープされたものよりも少しもろいということを忘れてはいけません。もし機械が振動したり、何らかの衝撃を受けたりした場合、ランプを固定するだけでは不十分です。緩衝作用のあるマウントブラケットを使用しましょう。これは、管が壊れるのを防ぐための簡単な方法です。