ウェーハ加熱時の安全距離

揮発性物質が存在する環境でウェーハを加熱する際に、安全を確保する方法 正直言って、化学洗浄エリアでウェーハを加熱するのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の蒸気が周囲に漂っている状態では、わずかな火花や熱暴走だけでも、単なる技術的なトラブルでは済まされず、大災害につながります。 そういう事態を...