Giảm lượng khí carbon trong phòng sạch: Tại sao chúng ta chuyển sang sử dụng bộ sưởi bằng tia hồng ngoại
Việc duy trì nhiệt độ phù hợp bên trong phòng sạch là một thách thức lớn. Thông thường, người ta sử dụng các thiết bị sưởi điện trở hoặc lò sưởi kiểu đối lưu. Những thiết bị này tuy hoạt động được, nhưng lại rất lãng phí năng lượng.
Chúng tôi đã bắt đầu sử dụng các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại thay thế. Đó là một sự thay đổi đơn giản, nhưng nó giúp giảm đáng kể lượng năng lượng tiêu thụ bởi phòng sạch.
Ngừng việc sưởi không khí
Vấn đề là: phương pháp sưởi bằng đối lưu rất kém hiệu quả. Nó cố gắng làm nóng từng phân tử nitơ hay argon trong phòng để làm ấm vật thể cần xử lý. Điều này dẫn đến việc lãng phí nhiều năng lượng.
Còn phương pháp sưởi bằng tia hồng ngoại thì khác. Nó sử dụng bức xạ để làm nóng trực tiếp vật thể cần xử lý. Bạn không cần phải chiến đấu với môi trường xung quanh; bạn chỉ cần chuyển năng lượng vào đúng vị trí cần thiết mà thôi. Khi chúng ta điều chỉnh công suất và điện áp cho phù hợp với trọng lượng của wafer, thời gian cần để làm nóng sẽ giảm đi đáng kể. Quá trình này diễn ra rất nhanh. Và điều đó có nghĩa là lượng năng lượng tiêu thụ sẽ giảm đi.
Chi tiết về các linh kiện sử dụng
Chúng tôi chế tạo các bộ sưởi này từ ống thạch anh có độ tinh khiết cao. Để tăng hiệu quả hơn nữa, chúng tôi còn sử dụng các lớp phủ đặc biệt. Điều này giúp tập trung năng lượng vào vật thể cần xử lý, thay vì để năng lượng bị phản xạ lại từ các bức tường của phòng sạch.
Vì chúng tôi sử dụng các đầu nối công nghiệp tiêu chuẩn, nên bạn có thể dễ dàng lắp chúng vào hệ thống hiện có của mình.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng những bộ sưởi này có công suất rất cao trong một không gian nhỏ. Do đó, bạn không thể lơ là việc lựa chọn cáp điện phù hợp. Nếu độ dày của cáp quá mỏng, bạn sẽ gặp vấn đề về điện áp. Điều này sẽ dẫn đến việc sưởi ấm không đồng đều, và đó là điều cuối cùng mà chúng ta muốn.
Lợi ích thực sự trên nền tảng sản xuất
Điều tuyệt vời nhất không phải là chính bộ sưởi, mà là những gì xảy ra với phần còn lại của phòng sạch.
Vì không cần phải sưởi không khí bên trong phòng sạch nữa, các hệ thống làm mát có thể nghỉ ngơi. Các máy làm lạnh không cần phải cố gắng duy trì nhiệt độ ổn định nữa.
Đó chính là lúc lượng khí carbon được giảm bớt. Điều này không liên quan đến những thuật ngữ “xanh” hay những linh kiện cao cấp nào cả. Đó chỉ là việc ngăn chặn sự lãng phí năng lượng trong toàn bộ hệ thống mà thôi.