Giữ cho các tấm wafer sạch sẽ: Thực tế về các bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong môi trường chân không
Trong các nhà máy sản xuất chip bán dẫn với công suất lớn, việc bóng đèn hỏng là một tai họa thực sự. Không chỉ máy móc phải ngừng hoạt động trong một thời gian ngắn, mà việc ống thủy tinh bên trong buồng chân không vỡ còn khiến các mảnh thủy tinh và khí độc hại bay tứ tung. Chỉ cần một bóng đèn bị hỏng thôi cũng có thể làm ô nhiễm toàn bộ lô sản phẩm wafer.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không chỉ chế tạo các bộ sưởi thông thường, mà còn chế tạo chúng sao cho chúng có thể hoạt động an toàn ngay cả khi gặp sự cố.
Xử lý vấn đề nhiệt
Trong môi trường chân không, nhiệt được truyền đi theo cách khác so với môi trường bình thường. Vì không có không khí để truyền nhiệt, nên bóng đèn phải tự mình thực hiện việc truyền nhiệt thông qua bức xạ. Điều này gây ra áp lực lớn lên ống thủy tinh.
Để ngăn chặn việc ống thủy tinh bị nứt trong quá trình gia nhiệt và làm lạnh nhanh, chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thủy tinh này ít giãn nở hơn so với loại thủy tinh rẻ tiền, vì vậy nó có thể chịu đựng được áp lực mà không bị nứt.
Giải pháp “an toàn”
Chúng tôi luôn chuẩn bị sẵn các biện pháp dự phòng. Hầu hết các bộ sưởi của chúng tôi đều được trang bị lớp bảo vệ bổ sung hoặc lớp phủ đặc biệt. Điều này giúp ngăn chặn việc các mảnh vụn từ bóng đèn bay vào khu vực xử lý sản phẩm. Chúng tôi cũng sử dụng gốm và kim loại chất lượng cao để chế tạo các bộ phận kín, vì điều cuối cùng mà chúng ta muốn tránh chính là việc có mảnh vụn nào đó lọt vào các tấm wafer.
Vấn đề về công suất
Điểm khó khăn là mọi người đều muốn tăng tốc độ hoạt động của bộ sưởi. Để đạt được điều đó, cần có công suất cao. Nhưng nếu cung cấp quá nhiều công suất cho một ống thủy tinh ngắn, áp suất khí halogen bên trong sẽ tăng lên đáng kể. Đây là một vấn đề cần cân nhắc kỹ lưỡng. Bạn cần đảm bảo rằng máy bơm chân không có thể xử lý được lượng khí thoát ra nếu có sự cố xảy ra.
Lưu ý rằng đừng cố gắng tăng công suất của bóng đèn chỉ để rút ngắn thời gian hoạt động của nó. Việc vượt quá công suất cho phép sẽ khiến bóng đèn bị hỏng nhanh chóng.
Chúng tôi chế tạo các bộ sưởi này sao cho chúng có thể hoạt động ổn định trong điều kiện sản xuất 24/7. Bằng cách chú trọng đến chất lượng thủy tinh và các bộ phận kín, chúng tôi đảm bảo rằng chỉ có nhiệt lượng mới tác động lên các tấm wafer mà thôi.