Üretim alanında, yumuşak pişirme fırını sürekli olarak çalışıyor; ancak asıl sorun genellikle termal analiz cihazının içindeki ısıtma lambasından kaynaklanıyor. Foto direnç malzemesinin pişirilmesi sırasında lambanın veriminin 2°C kadar değişmesi bile kritik boyutların nanometre cinsinden değişmesine neden olabilir ve işlem bu noktada durur. Biz de bu belirsizliği ortadan kaldırmak için termal analiz cihazının ısıtma lambasını özel olarak geliştirdik.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Lamba, hızlı ve temiz ısı iletimi sağlamak için kuvars kaplamalı, yakın kızılötesi enerjiyle çalışır. 300–600°C aralığında çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve pişirme bölgesindeki sıcaklık düzenliliğini ±0,1°C civarında korur. Güç, standartlaştırılmış yüksek sıcaklık konektörleri aracılığıyla sağlanır; bu sayede ekipman zarar görmez. Filamentin geometrisi ve yansıtıcıların konumu ayarlanarak sıcaklık gradyanları en aza indirgenmiştir. Böylece merkezden kenarlara doğru sıcaklık dağılımı işlem gerekliliklerine uygun hale gelir. Hiçbir sürpriz yok, sadece tekrarlanabilir bir ısıtma işlemi gerçekleşir.
Litografide neden etkili olduğu:
Litografide, yumuşak ve sert pişirme adımları foto direnç malzemesinin özelliklerini belirler. Sıcaklık stabilitesi, CD değerlerinin kontrol altında tutulmasını ve ürün kalitesinin yüksek kalmasını sağlar. Bu lamba, 1–100 sınıfı temiz odalarla uyumludur ve sıcak bölgede hiç parçacık üretmez; böylece kusur oranları istenen seviyede kalır. Lamba, üretimde günlerce kesintisiz olarak çalışabilir; 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil çalışır ve yoğunluk kaybı %5’in altındadır. Daha az lamba değişimi, daha az durma süresi ve her wafer için güvenilir sıcaklık profilleri elde edilir.
Planlamanız gereken detaylar:
Lambanın, uygun akım kontrolüne sahip özel bir güç kaynağına ihtiyacı vardır. Mevcut analiz cihazlarını yenileyecekseniz, küçük mekanik ayarlamalar yapmanız gerekebilir. Odanın emisivitesi kontrol altında tutulduğunda ve lamba zamanında yeniden kalibre edildiğinde en iyi performans elde edilir. Lambanın hizalanması da prosedürlerinize göre yapılmalıdır.