На производственном участке 300 мм пластина размещена на линии, ожидая мягкий обжиг, который фиксирует профиль фоторезиста. Если нагревательная плита смещается даже незначительно, контроль ширины линии нарушается, и вся партия может оказаться бракованной. Мы разработали нагревательные лампы XRD, чтобы исключить эту переменную.
Технические характеристики
Лампы работают в коротковолновом инфракрасном диапазоне с кварцевыми галогенными элементами, обеспечивая нагрев непосредственно в нужной зоне. Однородность температуры по поверхности пластины поддерживается в пределах ±0,1°C, а повторяемость установки температуры остается стабильной от цикла к циклу. Лампы эксплуатируются в чистых помещениях класса 1–100, при этом генерация частиц во время работы не превышает 0,1 частицы/см³. Мощность и интенсивность излучения сохраняются стабильными более 5 000 часов с дрейфом интенсивности менее 5%.
Почему это эффективно в литографии
Мягкий обжиг удаляет растворители и формирует напряжение в пленке. Жёсткий обжиг фиксирует затвердевший профиль для травления и имплантации. Эти лампы быстро выходят на рабочую температуру, сокращая время обжига и оптимизируя тепловой бюджет. Результат — стабильное соблюдение критических размеров, снижение количества доработок и уменьшение энергозатрат на пластину.
При сушке пластин после очистки тот же уровень контроля предотвращает повторную конденсацию и появление водяных пятен, что способствует поддержанию высокого выхода годных изделий.
Важные моменты
Габариты компактны, лампы подходят для большинства модулей треков и коутеров, однако интеграция требует внимания. Следует проверить свободное пространство в оптическом пути, обеспечить стабильность блока питания и проконтролировать отвод паров.
На прогрев ламп до заданной температуры уходит короткое время — планируйте рецепты обжига с учётом этого переходного периода. После настройки выравнивания и калибровки технологическое окно расширяется без усложнения процесса.