На производственном участке даже небольшое изменение температуры в размере 0,5°C во время процесса мягкой обработки фотополимера может привести к тому, что большая часть продукции станет браком. Сушка пластин неэффективна, если температурный профиль не может быть поддерживаемым на всей поверхности пластины. Мы разработали полуводонепроницаемые нагреватели с контролем типа PID, что позволяет устранить такую нестабильность. Контроль осуществляется с использованием инфракрасных датчиков, что обеспечивает стабильность температуры на уровне каждой отдельной пластины.
Что важно для эффективности работы системы
Мы сочетаем быстрореагирующие инфракрасные излучатели с высокоточными контроллерами типа PID, что позволяет поддерживать температуру пластины на уровне ±0,1°C. Это обеспечивает стабильность процесса сушки и повышает точность контроля размеров деталей. Система подходит для использования в помещениях класса чистоты 1–100. Благодаря отсутствию открытых горячих элементов и минимизации конвективных потоков тепла, количество частиц в воздухе сводится к минимуму. Для хранения информации о процессе контроллер сохраняет данные о различных режимах работы и записывает температурные показатели – это упрощает аудит процесса без дополнительных усилий.
Почему это важно в процессах литографии и сушки
В процессе литографии необходима стабильная температура для правильного формирования вязкости фотополимера и удаления растворителей без появления поверхностных дефектов. В процессе сушки необходим контролируемое нагревание для эффективного удаления очищающих веществ. Наш подход с использованием инфракрасных нагревателей и контроллера типа PID обеспечивает стабильность процесса и возможность быстрой корректировки параметров. Это снижает время выполнения процесса и количество браков. Также снижается расход энергии, поскольку нагрев осуществляется только при необходимости. Система может работать круглосуточно с минимальными перерывами.
Необходимые условия для корректной работы системы
Инфракрасные нагреватели требуют точной настройки и чистого оптического пути для работы. Необходимо выделить время на настройку параметров PID в зависимости от реальных условий работы и тепловой массы устройства. Также важно, чтобы интерфейс устройства соответствовал разъемам и сигналам управления нагревателя. После правильной настройки система будет работать эффективно. Этот этап настройки является обязательным.