Evite que suas ferramentas para trabalhar com wafers superaqueçam
Já percebeu como o aquecimento por radiação infravermelha convencional acaba aquecendo tudo ao redor? É como tentar acender uma vela com um lança-chamas. Você quer que o wafer fique quente, mas, em vez disso, toda a câmara de vácuo acaba absorvendo toda essa energia radiante.
Esse “calor indesejado” é um verdadeiro problema. Ele transforma o custoso corpo da ferramenta em um enorme dissipador de calor, causando desvios térmicos e, pior ainda, um risco real de que alguém se queime no local de trabalho.
Descobrimos uma maneira melhor: aquecimento direcional.
Como funciona na prática
Em vez de irradiar calor em todas as direções, usamos lâmpadas de raio infravermelho de onda curta e refletores precisos. Pense nisso como trocar uma lâmpada comum por um laser. Nós direcionamos a energia diretamente para a superfície do wafer.
O resultado? As paredes da câmara permanecem frias. Você ainda consegue alcançar as velocidades rápidas necessárias para o processo RTP, mas a estrutura da ferramenta não é danificada pelo calor.
Os detalhes e os compromissos
Usamos tubos de quartzo de alta potência, pois eles são eficazes no transporte de calor. Eles são projetados para oferecer alta densidade de poder, então o wafer atinge a temperatura desejada em poucos segundos.
Mas há um problema: você precisa ficar atento aos sistemas de resfriamento. Como o feixe de calor é muito concentrado, o fluxo de calor no ponto focal é intenso. Se o sistema de resfriamento não conseguir lidar com essas cargas extremas, haverá pontos quentes no wafer. É um compromisso, mas fácil de resolver se as especificações estiverem corretas.
Tornando o local de trabalho mais seguro
Quando as paredes param de absorver o calor excedente, a parte externa da máquina permanece fria ao toque. Isso é uma grande vantagem para as pessoas que carregam as ferramentas ou realizam manutenções. Não há mais necessidade de evitar superfícies quentes.
Além disso, as vedações e junções da máquina duram mais tempo. Geralmente, essas peças queimam precocemente por causa do calor indireto. Agora, elas podem simplesmente cumprir sua função normalmente.
O melhor de tudo? São substitutos fáceis de instalar. Basta conectá-los aos controladores existentes, e pronto: o consumo de energia diminui significativamente. Simples.