Na linha de produção, o orçamento térmico do forno de oxidação determina os parâmetros fundamentais para a integridade do óxido nas superfícies das bolachas de silício. Uma variação de 1°C já é suficiente para transformar um lote de produtos de boa qualidade em material impróprio para uso. Criamos um elemento de aquecimento especial para a oxidação das bolachas de silício, a fim de eliminar essa variabilidade.
O que é importante, tecnicamente O elemento central do design é um conjunto de lâmpadas de quartzo-halogênio, que fornecem energia de onda curta diretamente na área onde se encontram as bolachas de silício. Isso garante uma uniformidade térmica de ±0,1°C em toda a área de processamento.
Em níveis abaixo de 10 nm, não se pode permitir nenhuma variação. A precisão do processo de cozimento faz toda a diferença no resultado final. Esse elemento mantém essa estabilidade, 24 horas por dia, sem gerar partículas indesejadas – algo confirmado em condições de sala limpa de classe 1.
Por que ele funciona bem na produção Isso ajuda a reduzir os problemas relacionados à litografia e ao processo de gravação. Quando os perfis de temperatura são consistentes e repetíveis, a espessura do fotolíquido permanece uniforme após o processo de cozimento, evitando assim irregularidades nas bordas das linhas gravadas.
O resultado é menos necessidade de retrabalho e um aumento constante no número de bolachas de silício produzidas por máscara. Além disso, há melhora na eficiência energética, o que reduz os custos operacionais sem diminuir a velocidade de produção.
O que você precisa planejar Esse elemento pode ser instalado em plataformas de fornos existentes, mas precisa de um fonte de alimentação e um sistema de controle dedicados para funcionar corretamente. O perfil de onda curta é ideal para processos térmicos rápidos, mas o alinhamento com a área onde estão as bolachas de silício precisa ser preciso – qualquer desalinhamento causará pontos quentes locais.
Realizamos testes no local para garantir que o perfil térmico esteja de acordo com as especificações exatas do seu processo, assim o desempenho será consistente de lote em lote.