Redução das emissões de carbono nas salas limpas: por que estamos passando a usar aquecimento por infravermelho
Manter a temperatura adequada dentro de uma sala limpa para processamento de semicondutores é um desafio. Geralmente, as pessoas recorrem a aquecedores resistentes ou fornos de convecção. Eles funcionam, sim, mas são extremamente ineficientes em termos de consumo de energia.
Começamos a usar elementos de aquecimento por ondas infravermelhas de curta distância. É uma substituição simples, mas faz uma grande diferença no consumo de energia pela sala limpa.
Pare de aquecer o ar
O aquecimento por convecção é ineficiente. Ele tenta aquecer cada molécula de nitrogênio ou argônio presente na sala, só para aquecer o objeto a ser processado. Isso representa um grande desperdício de energia.
Já o aquecimento por infravermelho funciona de maneira diferente: utiliza radiação para aquecer diretamente o objetivo desejado. Não há necessidade de lutar contra a atmosfera circundante; a energia é direcionada exatamente para onde é necessária. Quando ajustamos a potência e a tensão de acordo com a massa do wafer, o tempo de aquecimento diminui drasticamente. É rápido. Muito rápido. E isso significa menos consumo de energia por unidade produzida.
Detalhes técnicos
Esses elementos são fabricados com tubos de quartzo de alta pureza. Para torná-los ainda mais eficientes, adicionamos revestimentos especiais. Isso permite que a energia seja direcionada ao substrato, evitando que ela se espalhe pelas paredes da sala limpa.
Como utilizamos conectores industriais padrão, você pode simplesmente instalá-los em suas instalações existentes.
Uma observação importante: essas lâmpadas geram muita energia em um espaço pequeno. Como a densidade de energia é alta, não se pode economizar nos cabos utilizados. Se os cabos forem muito finos, haverá quedas de tensão. Isso causará um aquecimento irregular, o que é algo que devemos evitar a todo custo.
A verdadeira vantagem
A melhor parte não é nem mesmo o próprio aquecedor – é o que acontece com o resto da sala. Como não há aquecimento do ar ambiente, os sistemas de refrigeração podem finalmente descansar. Os resfriadores não precisam lutar contra condições adversas para manter a temperatura estável.
É assim que ocorre a redução das emissões de carbono. Não se trata de algum termo “verde” ou de peças sofisticadas. Trata-se simplesmente de evitar o desperdício de energia em todo o sistema.