Pare de desperdiçar calor em sua sala limpa
Se você já passou tempo aquecendo wafers de silício, sabe bem da frustração que isso causa. Você gasta energia para aquecer o forno, mas uma grande parte dessa energia simplesmente se perde. Ela é refletida pelas paredes ou vaza para o chassi do equipamento. É um desperdício de eletricidade e de tempo.
Descobrimos uma maneira de evitar esse desperdício. Usamos refletores revestidos de ouro para capturar cada watt de energia e direcioná-lo diretamente para o wafer.
Por que ouro?
Pode parecer algo luxuoso, mas na verdade é uma questão de física. O ouro é extremamente eficaz em refletir energia infravermelha. Compare isso com alumínio ou aço polido, que tendem a oxidar com o tempo. Você sabe como um espelho fica turvo com o tempo? Isso acontece com os refletores mais baratos. Eles perdem sua eficiência, o calor diminui e a qualidade do processo de produção fica comprometida. O ouro não faz isso. Ele permanece brilhante e eficiente por milhares de ciclos, enviando o calor diretamente para o wafer, em vez de deixá-lo se dissipar no interior do equipamento.
Direcionando o calor para onde realmente é necessário
Quando se combinam esses refletores de ouro com lâmpadas de IR de alta densidade, obtém-se um feixe de energia concentrado. É a diferença entre uma lâmpada comum e um laser. Você não está apenas aquecendo o ar ao redor do wafer; você está atingindo diretamente o substrato com fótons. Isso significa que os tempos de aquecimento são muito menores, e você pode controlar a temperatura em todo o diâmetro do wafer, sem precisar fazer suposições.
Os desafios
Existe um custo-benefício a considerar. Como concentramos tanto calor, a estrutura da lâmpada fica muito quente. Se você não utilizar ventiladores ou resfriadores adequados, será difícil evitar problemas. Um fluxo de ar insuficiente pode danificar as conexões da lâmpada ou deformar seus suportes, antes mesmo que você perceba que há algum problema.
Além disso, preste atenção à instalação elétrica. Esses sistemas ocupam pouco espaço e podem ser integrados facilmente às linhas de produção existentes. No entanto, eles consomem muita energia quando são ativados. Se seu disjuntor não for suficientemente potente, você terá que ir até o painel elétrico toda vez que o aquecedor for ligado. Não é uma maneira eficiente de passar a tarde.