Stop de scherven: houd je wafers schoon wanneer de verwarmingslampen het begeven
In een fabriek met hoge productiesnelheden is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om het feit dat de machine enkele uren stil moet staan; ook de troep die hierdoor ontstaat, is een probleem.
Wanneer een kwartsbuis kapotgaat, komen er kleine scherven en deeltjes op de wafers terecht. Eén enkele storing kan ervoor zorgen dat hele batches afval worden.
We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen. Hieronder leggen we uit hoe we onze UHP-verwarmingslampen ontwerpen, zodat je productielijn veilig blijft.
Het begint met het glas
Goedkope buizen bevatten kleine metalen oneffenheden. Die zijn niet zichtbaar, maar wanneer de temperatuur stijgt, worden deze punten stresspunten. Hierdoor kunnen de buizen barsten.
Wir gebruiken synthetisch gefuseerd silica met een hoge smeltpunt. Dit materiaal kan de schokken van snellijk opwarmen en afkoelen doorstaan. Door de zuiverheid van het materiaal strikt te controleren, vermijden we deze problemen. Hierdoor gaan de buizen niet zomaar kapot onder druk.
Een veiligheidsnet voor je wafers
Zelfs met de beste materialen kunnen er nog problemen optreden. Daarom hebben we een back-upoplossing bedacht.
Onze UHP-lampen beschikken over een gespecialiseerde kwartslaag of een dunne filmlaag. Dit kan worden gezien als een soort schild. Als het binnenste filament kapotgaat, zal deze buitenlaag de lamp beschermen. Het maakt de lamp niet onkwetsbaar, maar het geeft je systeem wel wat extra tijd om in noodtoestand te gaan voordat de lamp volledig kapotgaat.
Een tip
Let goed op de stroomvoorziening. Het is verleidelijk om de lamp te forceren om sneller de gewenste temperatuur te bereiken. Doe dit echter niet. Te hoge spanningen versnellen het verslijten van de lamp en veroorzaken het risico op defecten. Houd je aan de specificaties.
Het juiste formaat
We proberen de afmetingen van de lampen zo klein mogelijk te houden, zodat er zoveel mogelijk warmte wordt geproduceerd. Maar deze hoge energiedichtheid veroorzaakt veel druk op het koelsysteem.
Als de uiteinden van de lamp niet goed gekoeld worden, ontstaat er een grote temperatuurverschil. Hierdoor kan de lamp kapotgaan. Zorg ervoor dat er voldoende ruimte is tussen de lampen, rekening houdend met de thermische uitzetting. Je wilt immers geen mechanische spanning op het kwarts toevoegen.
Houd het los en koel, dan blijven je wafers schoon.