Op de productielijn is een temperatuurverschil van 0,5°C tijdens het zacht bakken van het fotoresistvullende materiaal al voldoende om veel producten onbruikbaar te maken. Het drogen van de wafers mislukt zodra het thermische profiel niet over de hele oppervlakte consistent blijft. Wij hebben PID-gereguleerde halfgeleiderverwarmers ontwikkeld om deze variabiliteit te verminderen. Hierbij wordt gebruik gemaakt van een gesloten circuitleiding voor infraroodcontrole, zodat de temperatuur op het niveau van elke individuele wafer stabiel blijft.
Wat er echt toe doet We combineren een snel reagerend infraroodsender met een hoogwaardige PID-regelaar, zodat de temperatuur van de plaat op ±0,1°C kan worden gehouden. Dit zorgt voor reproduceerbare bakprofielen, zowel bij zacht als hard bakken, en voor een constante temperatuur over de hele wafeloppervlakte. Hierdoor kan de kwaliteit van het product goed worden gecontroleerd. Het systeem past zich aan aan omstandigheden in een schoonruimte van klasse 1–100. Dankzij het ontwerp wordt de productie van deeltjes tot bijna nul beperkt; er worden geen hete draden gebruikt en de convectiestromingen worden beperkt. De regelaar slaat meerdere instellingen op en registreert de temperatuurwaarden – ideaal voor controledoeleinden, zonder extra werk.
Waarom dit belangrijk is in lithografie en droging In lithografie is het nodig om een consistente temperatuur te hebben, zodat de viscositeit van het fotoresistvullende materiaal goed kan worden bepaald en de oplosmiddelen uit het materiaal kunnen worden verwijderd. Bij het drogen van wafers is het belangrijk om een gecontroleerde warmtebron te hebben, zodat reinigingsmiddelen effectief kunnen werken en herneerslag kan worden voorkomen. Onze PID-gereguleerde infraroodverwarmers zorgen voor deze consistentie, waardoor de cyclustijden korter worden en er minder afval ontstaat. De energieverbruik neemt af, omdat de warmte alleen wordt gegenereerd wanneer dat nodig is. Het systeem kan dus continu draaien, met minimale stilstandstijd.
De vereisten voor een goede opstelling Infraroodverwarmers vereisen nauwkeurige alignering en een schone optische path, zodat ze stabiel kunnen werken. Plan een korte inrichtingsperiode in om de PID-parameter bij te stellen op basis van uw specifieke belasting en thermische eigenschappen. Zorg er ook voor dat de interface van uw apparaat overeenkomt met de aansluitingen en bedieningsfuncties van de verwarmers. Eenmaal goed geconfigureerd, werkt het systeem perfect – maar deze voorbereidingsstap is essentieel.