Het behouden van schone wafers: de werkelijkheid van vacuüminfraroodverwarmers
In een fabriek voor半导体制品 is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om het feit dat de machine even stil moet staan. Als er een kwartsbuis in een vacuümkamer kapotgaat, vliegen er stukken glas en schadelijke gassen overal heen. Eén kapotte lamp kan al een hele lading wafers vervuilen.
Daarom bouwen we geen gewone verwarmers; we bouwen ze zodat ze veilig kunnen falen.
Omgaan met hitte
Hitte gedraagt zich anders in een vacuüm. Omdat er geen lucht is die de hitte kan verspreiden, moet de lamp alle werk zelf doen door middel van straling. Dit zorgt voor veel druk op het kwarts.
Om te voorkomen dat de buizen barsten tijdens de snelle opwarm- en afkoelprocessen, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge kwaliteit. Dit materiaal rekent of krimpt nauwelijks, waardoor het de druk kan weerstaan zonder te breken.
De ‘veiligheidsnetwerk’-aanpak
We gaan ervan uit dat er iets mis kan gaan. Daarom voegen we een fysiek veiligheidsmechanisme toe. De meeste van onze verwarmers zijn uitgerust met een extra beschermend laagje of een speciale coating. Denk hierbij aan een soort ‘scheikooi’. Als de hoofdbuis kapotgaat, voorkomt dit laagje dat het filament en andere deeltjes in de verwerkingzone terechtkomen. We gebruiken ook keramiek en metalen van vacuùmkwaliteit voor de afdichtingen, want het laatste wat je wilt, is dat er kleine deeltjes in je wafers terechtkomen.
De strijd om vermogen
Hier komt het lastige punt: iedereen wil dat de verwarmer sneller op temperatuur komt. Maar om deze snelheid te bereiken, heb je veel vermogen nodig. Als je echter te veel vermogen in een korte buis stoppt, stijgt de druk van het halogengas enorm. Het is een kwestie van balans. Je moet ervoor zorgen dat je vacuümpomp het kan hebben als er toch iets misgaat.
En nog een tip: overbelast je lampen niet alleen maar om een paar seconden te besparen. Het overschrijden van de maximale vermogenswaarde leidt snel tot een prematuur defect.
We bouwen deze verwarmers zodat ze bestand zijn tegen 24/7 productie. Door veel aandacht te besteden aan de kwaliteit van het kwarts en de afdichtingen, zorgen we ervoor dat alleen de hitte op de wafers terechtkomt.