Di bilik pengeluaran, ketuhar pemanasan yang digunakan sentiasa beroperasi, tetapi masalah utama yang timbul ialah kekurangan kuasa panas daripada lampu pemanas yang terdapat dalam alat analisis termal tersebut. Perbezaan suhu sebanyak 2°C semasa proses pemanasan boleh menyebabkan perubahan pada dimensi komponen elektronik sebanyak beberapa nanometer – dan itulah saat di mana proses pengeluaran terhenti. Kami telah reka bentuk lampu pemanas tersebut agar dapat mengurangkan ketidakpastian ini.
Apa yang penting dari segi teknikal
Lampu ini menggunakan tenaga gelombang pendek inframerah dekat (NIR), dengan lapisan kuarsa yang membantu pemindahan haba dengan lebih cepat dan efektif. Ia direka untuk beroperasi pada suhu antara 300–600°C, dan ia mampu mengekalkan keseragaman suhu sekitar ±0.1°C di seluruh kawasan pemanasan. Tenaga yang diperlukan disalurkan melalui sambungan berstandar yang sesuai dengan ruang analisis, tanpa merosakkan peralatan tersebut.
Kami telah menyesuaikan bentuk filamen dan laluan pantulan cahaya agar gradien suhu dapat dikurangkan, sehingga suhu di bahagian tengah dan tepi kawasan pemanasan tetap sama seperti yang ditetapkan oleh spesifikasi proses. Tiada kejutan yang berlaku, kerana suhu yang dihasilkan adalah konsisten.
Mengapa ia sesuai untuk proses litografi
Dalam proses litografi, langkah pemanasan yang dilakukan memainkan peranan penting dalam membentuk profil fotoresist. Kestabilan suhu sangat penting untuk mengawal ketepatan dimensi komponen elektronik. Lampu ini sesuai digunakan di bilik bersih kelas 1–100, dan ia tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya di kawasan panas – sekali gus memastikan jumlah kecacatan tetap rendah.
Lampu ini boleh beroperasi secara berterusan dalam proses pengeluaran, dengan masa operasi melebihi 5,000 jam, dan penurunan intensiti cahaya kurang dari 5%. Dengan ini, keperluan untuk menukar lampu menjadi lebih jarang, masa henti operasi berkurangan, dan profil suhu dapat dijangkakan dengan tepat dari satu wafer ke wafer yang lain.
Butiran yang perlu dipertimbangkan semasa perancangan
Lampu ini memerlukan sumber tenaga khusus yang mampu mengawal arus elektrik dengan tepat. Jika anda ingin memodifikasi alat analisis lama, sedikit penyesuaian mekanikal diperlukan. Prestasi lampu akan lebih baik jika emisiviti ruang analisis dikawal dengan baik, dan lampu tersebut dikalibrasi secara berkala.
Pastikan penetapan posisi lampu selaras dengan jadual penyelenggaraan pencegahan yang telah ditetapkan, dan pastikan penyesuaian posisi lampu mengikut prosedur operasi standard yang ditetapkan.