Cara Memastikan Wafer MEMS Kering dengan Betul
Ketika menghasilkan sensor MEMS, membuang kelembapan daripada wafer merupakan proses yang agak rumit. Wafer perlu dikeringkan sepenuhnya, tetapi kita tidak boleh menggunakan haba yang berlebihan, kerana ia akan merosakkan substrat tersebut atau meninggalkan sisa-sisa yang tidak diinginkan.
Inilah di mana pemanas inframerah kami berguna. Kami menggunakan lampu kuarsa berintensiti tinggi yang mampu mengeringkan permukaan wafer dalam masa beberapa saat sahaja. Ia sangat cepat.
Keseimbangan Antara Kuasa dan Haba
Perlu diingat bahawa kita tidak boleh sekadar meningkatkan kuasa pemanas tanpa memikirkan akibatnya. Jika berbuat begitu, permukaan wafer akan menjadi terlalu panas dan rosak.
Kami meluangkan banyak masa untuk mencari keseimbangan yang tepat antara kuasa dan voltan, bergantung pada saiz bilik pengeluaran. Ya, kuasa yang lebih tinggi akan meningkatkan kelajuan pengeluaran, tetapi ia juga memberi tekanan besar pada sistem bekalan tenaga. Kita perlu menyesuaikan jarak antara lampu dan masa operasinya agar suhu permukaan wafer kekal pada tahap yang sesuai.
Komponen Berkualiti Tinggi
Kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi untuk pembungkus lampu. Mengapa? Kerana kita tidak mahu bahan kimia yang terkandung dalam lampu mencemari bilik bersih tersebut.
Kami juga menggunakan lapisan pelindung gelombang pendek. Gelombang inframerah gelombang pendek dapat menembusi lapisan kelembapan dengan lebih efektif berbanding gelombang panjang. Memandangkan lampu ini beroperasi secara berterusan, kami menggunakan penyambung berkualiti tinggi agar ia tidak rosak selepas beberapa minggu digunakan.
Realiti Penggunaan
Sejujurnya, memasang pemanas ini dalam proses pengeluaran MEMS bukanlah sesuatu yang mudah. Intensiti haba yang dihasilkan sangat tinggi. Jika tiada sistem penyejukan yang efektif, haba tersebut akan merosakkan komponen elektronik yang digunakan. Apabila komponen elektronik tersebut rosak akibat overheating, masalah besar akan timbul.
Beberapa tips dari pengalaman praktikal:
Pilihlah lampu yang boleh diganti dengan mudah. Ini akan memudahkan proses penyelenggaraan dan mengurangkan masa henti operasi. Selain itu, gunakan alat pengukur suhu yang tepat sebelum memulakan proses pengeluaran. Langkah kecil ini dapat membantu mengelakkan pembaziran silikon yang berharga.