Di lantai pabrik, perubahan suhu sebesar 0,5°C selama proses pembakaran fotoresist sudah cukup untuk mengubah bahan yang digunakan menjadi limbah. Proses pengeringan wafer akan gagal jika profil termal tidak dapat dipertahankan di seluruh permukaan wafer. Kami membuat pemanas semikonduktor yang dikendalikan oleh sistem PID, agar variasi suhu dapat diminimalkan, dengan kontrol inframerah berbasis sistem loop tertutup yang dirancang untuk menjaga stabilitas suhu pada tingkat wafer.
Apa yang penting dalam sistem ini? Kami menggunakan pemancar inframerah yang responsif cepat, dikombinasikan dengan kontroler PID berkualitas tinggi, sehingga suhu pelat bisa dipertahankan pada kisaran ±0,1°C. Hal ini memungkinkan terciptanya profil pembakaran yang konsisten, baik selama proses pembakaran lembut maupun keras, serta menciptakan keseragaman suhu di seluruh permukaan wafer, sehingga dimensi penting dari wafer tetap terjaga. Sistem ini cocok digunakan di ruang bersih kelas 1–100. Desainnya juga mencegah terbentuknya partikel debu, karena tidak menggunakan filamen panas yang terbuka, serta meminimalkan turbulensi konvektif. Untuk mencatat data proses, kontroler akan menyimpan berbagai resep penggunaan pemanas serta mencatat grafik suhu—semua data tersebut siap digunakan untuk audit, tanpa perlu usaha tambahan.
Mengapa hal ini penting dalam proses litografi dan pengeringan? Dalam litografi, diperlukan proses pembakaran yang konsisten agar viskositas fotoresist dapat dikontrol, dan pelarut yang ada di fotoresist dapat dikeluarkan tanpa merusak struktur fotoresist tersebut. Dalam proses pengeringan wafer, diperlukan panas yang terkendali agar zat pembersih dapat bekerja efektif, dan proses penumpukan kembali zat pembersih dapat dicegah. Pendekatan PID berbasis inframerah ini memberikan kekonsistenan yang tinggi, sehingga waktu siklus proses berkurang, dan limbah yang dihasilkan juga berkurang. Penggunaan energi pun berkurang, karena panas hanya dihasilkan saat diperlukan saja, bukan secara terus-menerus. Sistem ini juga dapat beroperasi secara kontinu, tanpa adanya waktu henti yang tidak terduga.
Pengaturan yang tidak boleh diabaikan Pemanas inframerah membutuhkan penyesuaian yang tepat agar bisa berfungsi secara stabil. Siapkan waktu yang cukup untuk menyetel parameter PID sesuai dengan beban kerja dan massa termal yang ada. Pastikan antarmuka alat Anda sesuai dengan konektor dan sinyal kontrol pemanas tersebut. Setelah penyesuaian selesai, pemanas akan berfungsi dengan baik—tapi langkah penyesuaian ini sangat penting.