फैब्रिकेशन लाइन पर, सॉफ्ट बेक ओवन हमेशा काम करता रहता है; लेकिन वास्तव में समस्या तो थर्मल एनालाइज़र के अंदर मौजूद हीटिंग लैंप से ही होती है। फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान लैंप के आउटपुट में 2°C का अंतर ही परिणामों में नैनोमीटर स्तर पर बदलाव ला सकता है… और ऐसी स्थिति में ही प्रक्रिया रुक जाती है। हमने थर्मल एनालाइज़र के हीटिंग लैंप को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि ऐसी अनिश्चितताएँ दूर हो सकें।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
यह लैंप नियर-इन्फ्रारेड (NIR) ऊर्जा पर काम करता है, एवं क्वार्ट्ज से बने कवर के कारण ऊष्मा तेज़ एवं सटीक तरीके से ही स्थानांतरित होती है। इसे 300–600°C के तापमान में उपयोग के लिए डिज़ाइन किया गया है… एवं यह बेकिंग ज़ोन में ±0.1°C की सटीकता से तापमान को नियंत्रित करता है। ऊर्जा, मानकीकृत उच्च-तापमान वाले कनेक्टर के माध्यम से ही प्राप्त होती है… ताकि उपकरणों को कोई नुकसान न पहुँचे।
हमने फिलामेंट की संरचना एवं रिफ्लेक्टर के मार्ग को ऐसे ही डिज़ाइन किया है, ताकि तापमान में कोई असमानता न रहे… ताकि प्रक्रिया सटीक रूप से ही चल सके।
लिथोग्राफी में इसका क्या महत्व है?
लिथोग्राफी में, सॉफ्ट बेक एवं हार्ड बेक चरणों के द्वारा ही फोटोरेजिस्ट की संरचना निर्धारित होती है। तापमान में स्थिरता ही CD को नियंत्रित रखने एवं उत्पादन दर को बनाए रखने में महत्वपूर्ण है। यह लैंप “क्लास 1–100” क्लीनरूम में भी उपयोग किया जा सकता है… एवं गर्म ज़ोन में कोई कण भी नहीं उत्पन्न होता… जिससे दोषों की संख्या नियंत्रित रहती है।
यह लैंप लगातार 5,000 घंटों तक भी स्थिर रूप से काम करता है… एवं इसकी तीव्रता में 5% से भी कम कमी आती है। इससे लैंपों को बदलने की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं वेफरों/बैचों के बीच तापमान संरचना में कोई असमानता नहीं रहती।
योजना बनाते समय किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
इस लैंप के लिए उचित वोल्टेज एवं करंट नियंत्रण वाला पावर सप्लाई आवश्यक है। यदि आप पुराने एनालाइज़रों में इसे लगा रहे हैं, तो मशीन की संरचना में थोड़े बदलाव करने होंगे। चैंबर की ऊष्मा-उत्सर्जन क्षमता को नियंत्रित रखने एवं लैंप को समय-समय पर पुनः कैलिब्रेट करने से ही सबसे बेहतर परिणाम प्राप्त होंगे।